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恒塑科技1200℃滑式真空爐CVD系統(tǒng)

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更新時間：2023-06-02 10:41:48瀏覽次數(shù)：214次

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鄭州市恒塑電子科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

功能特點：本套系統(tǒng)由滑動式開啟式真空管式爐，混氣系統(tǒng)，真空及壓力系統(tǒng)等組成

詳細(xì)介紹

功能特點：
本套系統(tǒng)由滑動式開啟式真空管式爐，混氣系統(tǒng)，真空及壓力系統(tǒng)等組成。此系統(tǒng)燒結(jié)溫度可達(dá)1200℃，通過滑動爐體來實現(xiàn)快速的升降溫；配置不同的真空系統(tǒng)來達(dá)到理想的真空度；同時通過三路高精度質(zhì)量流量計控制不同氣體。
產(chǎn)品用途：
高校、科研院所用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備
產(chǎn)品參數(shù)

爐體結(jié)構(gòu)：雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng)，有效保證外殼表面溫；真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好
電源電壓：AC220V 50/60Hz；
功率：4KW
爐管材質(zhì)：高純石英管，高溫下化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng)，耐腐蝕，熱膨脹系數(shù)極小
爐管尺寸：Φ40/60/80/100*1200mm
加熱系統(tǒng)：加熱元件采用優(yōu)質(zhì)合金絲0Cr27Al7Mo2，表面負(fù)荷高、經(jīng)久耐用
加熱區(qū)長度：440mm
恒溫區(qū)長度：200mm
工作溫度：≤1150℃
溫度：1200℃
升溫速率：10℃/min
溫控系統(tǒng)：溫度控制采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能30段升降溫程序
測溫元件：N型熱電偶
恒溫精度：±1℃
混氣系統(tǒng)：三路質(zhì)量流量計：數(shù)字顯示、氣體流量自動控制
內(nèi)置不銹鋼混氣箱，每路氣體管路均配有逆止閥
管路采用不銹鋼管，接口為Φ6卡套
每路氣體進(jìn)氣管路配有不銹鋼針閥
通過控制面板上的旋鈕來調(diào)節(jié)氣體流量
流量規(guī)格：0~1SLM
流量精度：±1.5%
極限真空：6.0×10-5Pa
工作真空：7.6×10-4Pa
標(biāo)準(zhǔn)配件：數(shù)顯式真空壓力表；可選高真空系統(tǒng)及真空計，壓力控制系統(tǒng)等
可選配件：混氣系統(tǒng),中、高真空系統(tǒng)，各種剛玉、石英坩堝，石英管，計算機(jī)控制軟件，無紙記錄儀，氧含量分析儀。