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鄭州科探儀器設(shè)備有限公司
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鄭州科探儀器設(shè)備有限公司
產(chǎn)品型號(hào)KT-Z160T-RL
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地鄭州市
聯(lián)系方式：裴勇查看聯(lián)系方式
更新時(shí)間：2023-05-09 14:54:06瀏覽次數(shù)：375次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 智能制造網(wǎng)半導(dǎo)體晶圓探針臺(tái)真空測(cè)試腔，用于霍爾效應(yīng)霍爾效應(yīng)測(cè)試儀、探針臺(tái)系列、顯微鏡系列測(cè)試儀、探針臺(tái)系列、顯微鏡系列。
一、應(yīng)用原理：
（1）半導(dǎo)體晶圓探針臺(tái)真空測(cè)試腔，國(guó)內(nèi)家研發(fā)探針臺(tái)設(shè)備廠家，有強(qiáng)大技術(shù)研發(fā)實(shí)力真空高低溫探針臺(tái)系統(tǒng)。
（2）使用國(guó)際上*的溫度控制系統(tǒng)和傳感器，溫度范圍為77.15K至673.15K（-196攝氏度到400攝氏度），溫度穩(wěn)定性可達(dá)0.1K。
二、半導(dǎo)體晶圓探針臺(tái)真空測(cè)試腔技術(shù)參數(shù)：
真空腔體 | |
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 |
上蓋開啟 | 鉸鏈側(cè)開 |
加熱臺(tái)材質(zhì) | 304不銹鋼 |
內(nèi)腔體尺寸 | φ160x90mm |
觀察窗尺寸 | Φ70mm |
加熱臺(tái)尺寸 | φ60mm |
觀察窗熱臺(tái)間距 | 75mm |
加熱臺(tái)溫度 | ﹣196~350℃ |
加熱臺(tái)溫控誤差 | ±1℃ |
真空度 | 機(jī)械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
允許正壓 | ≤0.1MPa |
真空抽氣口 | KF25真空法蘭 |
氣體進(jìn)氣口 | 3mm-6mm卡套接頭 |
電信號(hào)接頭 | SMA轉(zhuǎn)BNC X 4 |
電學(xué)性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V |
探針數(shù)量 | 4探針 |
探針材質(zhì) | 鎢針 |
探針尖 | 10μm |
探針移動(dòng)平臺(tái) | |
X軸移動(dòng)行程 | 30mm ±15mm |
X軸控制精度 | ≤0.01mm |
Y軸移動(dòng)行程 | 13mm ±12.5mm |
Y軸控制精度 | ≤0.01mm |
Z軸移動(dòng)行程 | 13mm ±12.5mm |
Z軸控制精度 | ≤0.01mm |
電子顯微鏡 | |
顯微鏡類別 | 物鏡 |
物鏡倍數(shù) | 0.7-4.5倍 |
工作間距 | 90mm |
相機(jī) | sony 高清 |
像素 | 1920※1080像素 |
圖像接口 | VGA |
LED可調(diào)光源 | 有 |
顯示屏 | 8寸 |
放大倍數(shù) | 19-135倍,視場(chǎng)范圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm |
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