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          鄭州科探儀器設備有限公司


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          半導體小型磁控濺射儀

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          參   考   價: 39800

          訂  貨  量: ≥1 臺

          具體成交價以合同協(xié)議為準

          產品型號KT-Z1650PVD

          品       牌其他品牌

          廠商性質生產商

          所  在  地鄭州市

          聯(lián)系方式:裴勇查看聯(lián)系方式

          更新時間:2023-04-17 16:01:49瀏覽次數:171次

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          經營模式:生產廠家

          商鋪產品:100條

          所在地區(qū):河南鄭州市

          聯(lián)系人:裴勇 (銷售)

          產品簡介

          半導體小型磁控濺射儀,能夠在非導電或導電不良的樣品上涂布金(Au),鈀(Pd),鉑(Pt)和金/鈀(Au / Pd)的薄膜。 在較短時間內即可形成具有細粒度的均勻薄膜,使樣品適用于掃描電子顯微鏡(SEM)分析。儀器結構緊湊,全自動控制,設計符合人體工程學,所得結果一致,可重復性高。

          詳細介紹

          鄭州科探儀器設備是高質量定制物理 氣相沉積(PVD)系統(tǒng)的設計者和制造商,客戶服務和售后服務出色。擁有7年以上真空和薄膜沉積技術經驗。其研發(fā)團隊在學界科學家和工程師的支持下,高度積極地開發(fā)新設計以滿足客戶的特殊要求。

            鄭科探的工程團隊設計和制造的組件符合高質量標準。KT-Z1650PVD真空鍍膜機已通過分銷商銷往許多大學和研究中心,并得到了很好的參考和反饋。

          儀器描述:

          半導體小型磁控濺射儀,能夠在非導電或導電不良的樣品上涂布金(Au),鈀(Pd),鉑(Pt)和金/鈀(Au / Pd)的薄膜。 在較短時間內即可形成具有細粒度的均勻薄膜,使樣品適用于掃描電子顯微鏡(SEM)分析。儀器結構緊湊,全自動控制,設計符合人體工程學,所得結果一致,可重復性高。


             產品特點:

              彩色觸摸屏:數據輸入簡單快速

             • 通過觸摸屏中直觀檢測數據和曲線;歷史頁面可顯示歷史涂層信息。

             • 可控鍍膜速率,可得到更精細的晶粒結構

             • 可手動或自動,根據時間或根據厚度進行濺射

          • 樣品臺更換簡單:標準旋轉樣品臺或選用行星式旋轉樣品臺。標準樣品臺高度可調、可傾斜、可旋轉;行星式旋轉樣品臺為多孔樣品帶來好的噴金效果。

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          半導體小型磁控濺射儀技術參數;

          控制方式

          7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

          濺射電源

          直流濺射電源

          鍍膜功能

          0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

          功率

          ≤1000W

          輸出電壓電流

          電壓≤1000V  電流≤1A

          真空

          機械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

          濺射真空

          ≤30Pa

          擋板類型

          電控

          真空腔室

          石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

          樣品臺

          可旋轉φ62  (可安裝φ50基底)

          樣品臺轉速

          8轉/分鐘

          樣品濺射源調節(jié)距離

          40-105mm

          真空測量

          皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

          預留真空接口

          KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進氣口






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