當前位置：北京燕京電子有限公司>>生物微流控>>微流控芯片加工設備>>KLOE 微流控芯片光刻機/曝光機 UV-KUB系列

KLOE 微流控芯片光刻機/曝光機 UV-KUB系列

返回列表頁

參考價

面議

具體成交價以合同協(xié)議為準

產品型號

品牌

廠商性質其他

所在地北京市

在線詢價收藏產品查看聯(lián)系電話

聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式

更新時間：2023-08-26 13:52:24瀏覽次數(shù)：406次

聯(lián)系我時，請告知來自智能制造網(wǎng)

產品分類 品牌分類

  生物微流控

混合進樣器

微流控芯片加工設備

暫無信息

北京燕京電子有限公司

經(jīng)營模式：其他

商鋪產品：2條

所在地區(qū)：

詢價 給他留言

產品簡介

KLOE微流控芯片光刻機/曝光機UV-KUB系列圖片簡介法國KLOE公司在光刻方面有著豐富的經(jīng)驗

詳細介紹

KLOE 微流控芯片光刻機/曝光機 UV-KUB系列

圖片

簡介

法國KLOE公司在光刻方面有著豐富的經(jīng)驗，其研發(fā)的UV- KUB系列光刻機是一種基于UV LED的曝光機系統(tǒng)，結構緊湊，可以直接放置在實驗臺上，能夠處理可達直徑4英寸的晶圓，兼容硬接觸（接觸式）或者軟接觸（接近式）工藝，可自動調整掩膜高度以適應不同的基板厚度，可使用365 nm或405 nm的光源，不需要預熱，也不需要單獨的冷卻單元。另外，UV-KUB系列*的設計，保證了光源的準直性和均勻性，其zui小分辨率可達2μm，發(fā)散角小于2°

本系統(tǒng)適用于市面上常用的光刻膠，如AZ系列、Shipley系列、SU-8系列和K-CL系列。

規(guī)格參數(shù)

項目	UV-KUB 2	UV-KUB 3
最小分辨率	2 μm	2 μm
光源波長	365 nm / 385 nm / 405 nm	365 nm
能量密度	25 mW / cm2 ± 10 %	30 mW / cm2 ± 10 %
熱效應升溫	< 1°C	< 1°C
曝光時間	1s~18 hours	1s~18 hours
存儲程序數(shù)量	10個	無限制
對準分辨率	/	< 3 μm
外形尺寸	260 x 260 x 260 mm3	480 x 480 x 480 mm3
重量	8.2 kg	55 kg
顯示屏	彩色觸摸屏5.7 inches	彩色觸摸屏15.6 inches