產(chǎn)品介紹: NavigatorSEM-100高通量（場發(fā)射）掃描電子顯微鏡

聚束科技獨立研發(fā)并擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的NavigatorSEM-100高通量（場發(fā)射）掃描電子顯微鏡，通過對成像技術(shù)、運動平臺、電路控制及智能算法的系統(tǒng)化創(chuàng)新設(shè)計，實現(xiàn)了高通量成像，成像速度可達(dá)到傳統(tǒng)電鏡的數(shù)十倍以上。其全部采用直接電子探測器的技術(shù)方案，成功克服了傳統(tǒng)SEM技術(shù)在速度、精度和樣品損傷等方面的局限性，性地將掃描電鏡從傳統(tǒng)意義上的納米“照相機"提升為納米“攝像機"。同時操作簡單，全自動一鍵換樣，7*24小時無人值守運行，全面提升科研效率。我們將成熟的工業(yè)化高通量電鏡檢測技術(shù)應(yīng)用在生命科學(xué)、材料研究、半導(dǎo)體工業(yè)、地質(zhì)資源等領(lǐng)域。尤其在神經(jīng)生物學(xué)3D重構(gòu)、材料大面積表面分析、半導(dǎo)體反向工程、納米技術(shù)分析等應(yīng)用領(lǐng)域有顯著優(yōu)勢。

肖特基場發(fā)射電子槍

SORRIL^TM復(fù)合式電磁物鏡系統(tǒng)

光學(xué)導(dǎo)航系統(tǒng)

全自動樣品交換系統(tǒng)

聚焦跟蹤系統(tǒng)

納米級運動平臺

實時運算圖像處理服務(wù)器

* NavigatorSEM-100詳細(xì)信息

特性優(yōu)勢

: 極速成像

: 高質(zhì)量成像

: 跨尺度大規(guī)模成像

: 智能分析

: 操作簡單

極速成像

通過創(chuàng)新的硬件和軟件設(shè)計，實現(xiàn)二次電子與背散射電子雙通道同步成像：視頻級高分辨成像2×100M像素/秒，6秒鐘即可拍攝一張6億像素清圖像（區(qū)域：50μm×50μm分辨率:24K×24K ）。相較傳統(tǒng)意義掃描電鏡，其掃描速度高出一個數(shù)量級以上。

高清視頻級攝像幀率（2×200幀/秒@512×512，或2×60幀/秒@1024×1024），使其具有實時觀測樣品動態(tài)變化的能力。

基本指標(biāo): NavigatorSEM-100高通量（場發(fā)射）掃描電子顯微鏡

參數(shù)類型	參數(shù)值
分辨率	1.5nm@1kV 1.2nm@3kV 1.0nm@5kV
加速電壓	0.1 kV - 12 kV
放大倍數(shù)	500X - 600,000X(SEM) 1X - 500X(光學(xué))
束斑電流	50pA-300nA
圖像大小	512X512像素-24kX24k像素
圖像采集速度	雙通道同時采集2×100M 像素/秒駐留時間(Dwell Time)10納秒/像素