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M81 劃片貼膜機(jī)

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M81劃片貼膜機(jī)該設(shè)備是手動(dòng)上下料，手動(dòng)拉膜，手動(dòng)貼膜，自動(dòng)壓膜，手動(dòng)切割的貼膜設(shè)備，適用于半導(dǎo)體晶圓劃片制程前的貼膜工序

詳細(xì)介紹

M81 劃片貼膜機(jī)

該設(shè)備是手動(dòng)上下料，手動(dòng)拉膜，手動(dòng)貼膜，自動(dòng)壓膜，手動(dòng)切割的貼膜設(shè)備，適用于半導(dǎo)體晶圓劃片制程前的貼膜工序。

優(yōu)勢(shì)：

 兼容6、8英寸劃片環(huán)及3、4、5、6、8英寸晶圓，也可定制。

 省膜，做6、8英寸劃片環(huán)可達(dá)到同等的省膜。

 貼膜力由氣缸推力產(chǎn)生，貼膜壓力可參數(shù)化調(diào)整。

 防靜電特氟龍?zhí)幚碚婵瘴脚_(tái)，溫度室溫~100℃可控。

 晶圓放置臺(tái)采用浮動(dòng)設(shè)計(jì)，且高度可調(diào)，因此可兼容貼更大范圍厚度的晶圓，且浮動(dòng)的設(shè)計(jì)能更好地保護(hù)晶圓。

 晶圓定位采用標(biāo)線定位。

 離型層自動(dòng)纏繞回收，回收力可調(diào)。

 膜料與放膜料筒之間的鎖緊無需借助任何工具。

 正常貼磨過程中只需用到最右邊的按鈕，操作簡(jiǎn)單。

 采用氮?dú)鈴椈蓳?，操作更省力?/DIV>

 主要元器件均采用進(jìn)口品牌。

規(guī)格：

型號(hào)	M81
劃片環(huán)尺寸	6、8英寸，也可定制
晶圓規(guī)格	兼容4、5、6、8英寸晶圓，也可定制
晶圓厚度	150um - 800um
晶圓厚度	藍(lán)膜或UV膜
膜種類	寬度≤300mm, 膜料外徑≤200mm, 厚度0.05mm-0.2mm
電力供應(yīng)	AC220V ,50/60 Hz, 5A
功率	小于400W
壓縮空氣	0.5Mpa清潔干燥壓縮空氣
外形尺寸	560mm×860mm×360mm
凈重	50kg

性能：

晶圓收益：≥99.9%

貼膜質(zhì)量：沒有氣泡（不包括碎粒氣泡）

產(chǎn)能：≥90片/小時(shí)

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