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          THERMOVAC 變送器 真空計(jì)  TTR 96 N SC
          
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								更新時(shí)間：2022-12-18 14:10:20瀏覽次數(shù)：206次
							
          
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                    產(chǎn)品簡介
                
          
				
          
                      
          
                                                                      
          
					
          TTR 91 Nnbsp;和nbsp;TTR 96 N THERMOVACnbsp;系列真空變送器可提供從nbsp;5×10-5nbsp;到nbsp;1000nbsp;毫巴的較大測量范圍，基于對(duì)nbsp;MEMS Piraninbsp;硅芯片傳感器上小空腔中的熱傳導(dǎo)性的測量結(jié)果。nbsp;nbsp;TTR 91 Nnbsp;和nbsp;TTR 96 N THERMOVACnbsp;變送器用途廣泛，......
          
				
          
				
          
                    詳細(xì)介紹
                
          
			    
          
			        
          
			            
                   
          TTR 91 N 和 TTR 96 N THERMOVAC 系列真空變送器可提供從 5×10-5 到 1000 毫巴的較大測量范圍，基于對(duì) MEMS Pirani 硅芯片傳感器上小空腔中的熱傳導(dǎo)性的測量結(jié)果。 
           
          TTR 91 N 和 TTR 96 N THERMOVAC 變送器用途廣泛，可用作獨(dú)立裝置，或用于 Graphix 控制器 (P/N: 230680V01、230681V01、230682V01) 和 Display 控制器 (P/N: 230001、230024、230025)。所有 THERMOVAC 變送器均可向下兼容 Graphix、Display 和 Center 控制器。 
           
          每臺(tái)變送器在出廠前已逐臺(tái)進(jìn)行全量程測試。測試報(bào)告隨附在包裝中。此外，每個(gè)變送器壓力讀數(shù)均在操作溫度范圍內(nèi)逐一得到溫度補(bǔ)償。 
           
          變送器擁有多達(dá)三個(gè)機(jī)械繼電器，這些繼電器可用于過程控制，例如閥或泵的聯(lián)鎖。模擬電壓輸出可連接至外部模擬設(shè)備，用于獲取壓力讀數(shù)，或進(jìn)行壓力控制。 
           
          傳感器技術(shù) 
          變送器具備單獨(dú)的 MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微電子機(jī)械系統(tǒng))) 傳感器 元件，元件測量基于熱傳導(dǎo)性的測量。MEMS Pirani 傳感器包含一個(gè)帶有熱電阻元件的硅芯片，其構(gòu)成空腔的一個(gè)表面。芯片頂部的封蓋形成空腔的另一表面。由于傳感器的幾何形狀，空腔內(nèi)無法進(jìn)行對(duì)流，因此，傳感器對(duì)安裝位置并不敏感。通過擴(kuò)散，氣體分子只到達(dá)熱元件，在此處可測量氣體的熱損耗。傳感器元件極為堅(jiān)固耐用，可承受較高重力和瞬間空氣涌入。 
           
          應(yīng)用 
          變送器可用于眾多不同領(lǐng)域的真空應(yīng)用中，如：工業(yè)應(yīng)用、研發(fā)、半導(dǎo)體、分析和涂料工業(yè)中:
          · 一般真空壓力測量 
          · 前級(jí)管道和粗抽壓力測量 
          · 氣體回填測量和控制 
          · 質(zhì)譜儀控制 
          · 啟動(dòng)超高真空電離 (UHV) 規(guī) 
          · 系統(tǒng)過程控制 
          · 檢測異常壓力，利用繼電器設(shè)定點(diǎn)采取妥當(dāng)?shù)陌踩胧?/span> 
          · 控制系統(tǒng)壓力 

           
          P/N: 230045V02 和 230047V02 含有 Parylene-HT®涂層傳感器。 
          Parylene-HT®是保形涂層，氣體阻隔性，不釋氣。與標(biāo)準(zhǔn) MEMS Pirani 相比，Parylene-HT®涂層傳感器對(duì)各種腐蝕性氣體的耐受性更強(qiáng)。涂層覆蓋整個(gè)傳感器芯片，包括接線。因此，暴露于處理氣體的材料只有 Parylene-HT®涂層。 如需更多詳情，請(qǐng)聯(lián)系應(yīng)用支持部門。 
           
          廢棄處理 
          TTR 91 N 和 96 N 變送器是根據(jù) RoHS (在電子電氣設(shè)備中限制使用某些有害物質(zhì)) 指令制造的。 


          技術(shù)數(shù)據(jù) 
          測量原理: 熱傳導(dǎo)性依據(jù) MEMS Pirani 傳感器而定 
           
          測量范圍 (N2 和空氣):  5×10-5 至 1000 毫巴 
           
          精確度 (1) (N2): 5×10-4 至 1x10-3 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ± 10%
           1×10-3 至 100 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ± 5%
           100 至 1000 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ± 25%
           
          重復(fù)性 (1) (N2):  1×10-3 至 100 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ± 2%
           
          電源電壓: 9 – 30 伏直流 
          功耗: < 1.2 瓦 
          熔絲 (熱可恢復(fù)): 200 毫安 
           
          模擬輸出 (100 歐阻抗): 0.61 – 10 伏直流，Log. 1.286 伏直流/十進(jìn)制 
          模擬輸出分辨率: 16 位 
          模擬輸出更新率: 16 赫茲 
          傳感器故障，模擬輸出:  0.5 伏 
           
          材料暴露于真空 (2):
          P/N: 230035V02 至 230043V02: 304 號(hào)不銹鋼、密封材料 FPM
          P/N: 230045V02、230047V02: 304 號(hào)不銹鋼、密封材料 FPM、Parylene-HT®
           
          設(shè)定點(diǎn)繼電器:
          P/N: 230035V02 至 230038V02: 0
          P/N: 230040V02 至 230047V02: 2
           
          設(shè)定點(diǎn)繼電器范圍: 2×10-4 至 1000 毫巴 
          設(shè)定點(diǎn)繼電器觸點(diǎn)額定值: 1 安/ 30 伏直流/交流 (電阻性負(fù)載)
          設(shè)定點(diǎn)繼電器響應(yīng)時(shí)間: < 100 毫秒 設(shè)定點(diǎn)繼電器觸點(diǎn)電阻: 100 毫歐 (值)  設(shè)定點(diǎn)繼電器觸點(diǎn)耐久性: 100000 循環(huán) (最小值) (30 伏直流/1 安負(fù)載)
          設(shè)定點(diǎn)繼電器觸點(diǎn)耐久性: 2000000 循環(huán) (最小值) (30 伏直流/0.2 安負(fù)載)
           
          內(nèi)部容積:
          P/N: 230035V02、230040V02、230045V02: KF16 2.80 厘米3 
          P/N: 230036V02: CF 16 3.71 厘米3 
          P/N: 230038V02、230043V02: NPT 1/8" 3.04 厘米3 P/N: 230037V02、230047V02: CF 16 (可烘烤) 23.14 厘米3 
           
          外殼材質(zhì): 304 號(hào)不銹鋼 
           
          重量:
          P/N: 230035V02、230040V02、230045V02: 168 克 
          P/N: 230036V02: 195 克 
          P/N: 230038V02、230043V02: 183 克 
          P/N: 230037V02、230047V02: 250 克 
           
          允許壓力:  6 巴 
          運(yùn)行溫度: 0 至 40 °C (32 至 104 °F)
          烘烤溫度 (電源關(guān)閉) (3): 85 °C (185 °F)
           250 °C (482 °F) (僅適用于 P/N: 230037V02、230047V02) (3) 
          燈絲溫度: 超過室溫 35 °C
          異物防護(hù)等級(jí): IP40
          泄漏速率: < 5?10-9 毫巴?升/秒 
           
          (1) 精確度和重復(fù)性數(shù)值是零位調(diào)整后在室溫氮?dú)夥障聹y得的典型數(shù)值。 
          (2) 如需暴露于處理氣體的所有材料的完整列表，請(qǐng)聯(lián)系 Leybold。 
          (3) 只有 CF 16 法蘭末端處允許采用烘烤溫度。變送器溫度不得超過 85 °C (185 °F)。因此，不建議在烘烤期間熱絕緣或直接加熱變送器和法蘭。  

          配件和備件編號(hào) 
           
          零件 
           
          產(chǎn)品號(hào) 
          TTR 91 N，DN16 KF
          230035V02
          TTR 91 N，DN16 CF
          230036V02
          TTR 91 N，DN16 CF，可烘烤 
          230037V02
          TTR 91 N，1/8" NPT
          230038V02
          TTR 91 N，DN16 KF，2SP
          230040V02
          TTR 91 N，1/8" NPT，2SP
          230043V02
          TTR 96 N C，DN16 KF，2SP
          230045V02
          TTR 96 N C，DN16 CF，可烘烤，2SP
          230047V02


          Display 1
          230001
          Display 2
          230024
          Display 3
          230025


          Graphix 1
          230680V01
          Graphix 2
          230681V01
          Graphix 3
          230682V01


          A 型電纜，5 米 
          12426
          A 型電纜，10 米 
          230012
          A 型電纜，15 米 
          12427
          A 型電纜，20 米 
          12428
          A 型電纜，30 米 
          12429
          A 型電纜，50 米 
          12431
          A 型電纜，75 米 
          12432
          A 型電纜，100 米 
          12433


          螺旋管 DN 16 ISO-KF
          230082


          定心環(huán) (1.4305 號(hào)不銹鋼)，含 O 型環(huán)，DN16 KF
          88346
          定心環(huán) (不銹鋼)，含燒結(jié)金屬過濾器，DN16 KF
          88351
          卡環(huán) (鋁)，DN16 KF
          18341
          定心環(huán)，含細(xì)濾器 DN 16 ISO-KF
          88396
          CF 螺栓，含雙螺母 M4+20
          83887
          CF 銅墊片 DN16 CF
          ES83941 

          更多信息請(qǐng)聯(lián)系萊寶：安博元科技  info

                 
                 
                          
                 
                          
                 
                          
                 
                          
                 
                          
               
			        
          
			    
          
                			    
                                                				
          
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