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第五代SFJ-231D型半導(dǎo)體專用氦質(zhì)譜檢漏儀

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品概述氦質(zhì)譜檢漏儀是對(duì)密封容器的泄漏進(jìn)行快速定位和定量測(cè)量的儀器

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品概述

氦質(zhì)譜檢漏儀是對(duì)密封容器的泄漏進(jìn)行快速定位和定量測(cè)量的儀器。氦質(zhì)譜檢漏方法與氣泡識(shí)別法、壓強(qiáng)衰減法和鹵素檢漏等方法相比，具有檢測(cè)靈敏度高、速度快和適用范圍寬，此外氦質(zhì)譜檢漏儀選擇無(wú)毒、無(wú)破壞性、質(zhì)量輕的惰性氣體氦作為探索氣體，所以安全可靠。

性能特點(diǎn)

1、德國(guó)原裝分子泵，雙銥帶離子源；
2、的氣路設(shè)計(jì)，較低的顆粒物干擾；
3、自保護(hù)功能，防止本底被污染；
4、自動(dòng)抽空壓力和時(shí)間設(shè)定，檢漏效率高；
5、故障提示和報(bào)警功能；
6、可選無(wú)線遙控功能；
7、實(shí)時(shí)監(jiān)控與檢漏曲線自動(dòng)記錄功能；
8、數(shù)字、條形、趨勢(shì)圖顯示方式讀取漏率值；
9、氦本底一鍵式自動(dòng)清零；
10、多種檢漏模式：粗檢、精檢、超精檢、吸槍模式。

行業(yè)應(yīng)用