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          行業(yè)產(chǎn)品

          • 行業(yè)產(chǎn)品

          昆山普樂斯電子科技有限公司


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          【普樂斯】真空等離子清洗設(shè)備 半導(dǎo)體等離子表面處理機(jī) PM/R-80LN

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          參  考  價面議
          具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

          產(chǎn)品型號

          品       牌

          廠商性質(zhì)其他

          所  在  地

          聯(lián)系方式:查看聯(lián)系方式

          更新時間:2023-10-11 09:23:55瀏覽次數(shù):180次

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          產(chǎn)品簡介

          品牌:普樂斯名稱:真空等離子清洗設(shè)備 半導(dǎo)體等離子表面處理機(jī)型號:PM/R-80LN用途:適合于材料表面清潔、活化

          詳細(xì)介紹

          產(chǎn)品特點(diǎn)

          v觸摸屏操作界面
          v數(shù)字及圖標(biāo)多重工藝參數(shù)實時顯示
          v三色燈異常報警功能
          v自動/手動操作模式切換
          v可存儲多套工藝配方
          v遠(yuǎn)程操控,數(shù)據(jù)砸導(dǎo)出(可選)
          v模塊多樣化選擇,多層托架可選,處理量大
          v外觀設(shè)計.5
          v軟件著作權(quán) 2019SR0011225

          產(chǎn)品參數(shù)

          型號 PM-80LN PR-80LN
          控制系統(tǒng) 控制方式 全自動控制(自動/手動切換)
          PLC(標(biāo)配)/PC(可選)
          操作系統(tǒng) Windows 10
          觸摸屏 7寸
          整機(jī)規(guī)格 尺寸 W850×D1100×H1700mm
          腔體 尺寸 W450×D400×H450mm
          材質(zhì) 鋁合金(標(biāo)配)/不銹鋼(可選)
          電極 尺寸 W440×D317mm
          層數(shù) 1-8層,可選
          托架 材質(zhì) 鋁合金(標(biāo)配)/不銹鋼(可選)
          層數(shù) 1層
          真空計 皮拉尼式真空計 1個
          流量計 MFC質(zhì)量流量控制器 2個;Ar、N2、O2(可選)
          真空泵 機(jī)械油式旋片泵 1套
          發(fā)生器 中頻/射頻 40KHz,0~1000W 13.56MHz,0~500W
          額定功率 整機(jī)峰值功率 4KW
          機(jī)臺供電 三相五線式 AC-380V
          選購品 干式泵、氣浴電極(打孔)、托架、接枝氣化儀、防腐密封、腔體加熱、加熱盤、溫度傳感器、H2安全閥、慢速泄氣閥、慢速抽氣閥、鋼瓶減壓閥、水冷電極、冰水機(jī)、模溫機(jī)、非標(biāo)法蘭、陶瓷緊固件

          注:以上參數(shù)僅供參考,本公司可能對相關(guān)產(chǎn)品參數(shù)進(jìn)行調(diào)整,如有變動,恕不再另行通知。若有不明處,歡迎來電詢問。

          工作原理

          在真空狀態(tài)下,壓力越來越小,分子間間距越來越大,分子間力越來越小,等離子清洗設(shè)備利用高頻源產(chǎn)生的高壓交變電場將氧、氬、氫、四氟化碳等工藝氣體震蕩成具有高反應(yīng)活性或高能量的等離子體,然后與有機(jī)污染物及微顆粒污染物反應(yīng)或碰撞形成揮發(fā)性物質(zhì),然后由工作氣體流及真空泵將這些揮發(fā)性物質(zhì)清除出去,從而達(dá)到表面清潔、活化等目的。如圖所示:

          應(yīng)用領(lǐng)域

          適合于材料表面清潔、活化
          解決材料粘結(jié)不牢固和粘結(jié)不良的問題
          適用于制作車間的批量生產(chǎn)以及制造

          快速反應(yīng),專業(yè)配合,精心打造服務(wù)生態(tài)鏈

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