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更新時(shí)間：2022-12-21 12:12:08瀏覽次數(shù)：507次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 智能制造網(wǎng)BPG402-S.pdfINFICONBPG402-SB-A型皮拉尼真空計(jì)(大氣壓至超高真空)INFICONB-A型皮拉尼復(fù)合真空計(jì)，BPG402-S，將兩種真空計(jì)集成在一個(gè)簡單小型的單元內(nèi)，測(cè)量范圍從5X10-10毫巴至大氣壓（3.8X10-10乇至大氣壓）
BPG402-S.pdf
INFICON BPG402-S B-A型皮拉尼真空計(jì)(大氣壓至超高真空)
INFICON B-A型皮拉尼復(fù)合真空計(jì)，BPG402-S，將兩種真空計(jì)集成在一個(gè)簡單小型的單元內(nèi)，測(cè)量范圍從5X10-10毫巴至大氣壓（3.8X10-10乇至大氣壓）。復(fù)合技術(shù)降低了安裝，設(shè)置和集成的復(fù)雜性。選擇一個(gè)經(jīng)濟(jì)型規(guī)管內(nèi)的BPG402-S帶有兩根敷涂銥的氧化釔燈絲，用于普及和可再現(xiàn)過程中的基本壓強(qiáng)測(cè)量。當(dāng)更換傳感器時(shí)，帶有在機(jī)校準(zhǔn)數(shù)據(jù)的傳感元件保證高度的重復(fù)性。
這種 Bayard 熱電離（雙絲極）皮拉尼結(jié)合真空計(jì) BPG402-S 系列直接取代 ITR 200 系列熱電離皮拉尼發(fā)射器：
好處
從 5 x 10-10 mbar 至大氣氣壓（3.8 x 10-10 Torr 至大氣氣壓）的極其寬泛的測(cè)量范圍
在 10-8 ...10-2 mbar 5% 工藝壓力范圍內(nèi)為表現(xiàn)出優(yōu)秀的重復(fù)性
皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)絲極，防止過早燒毀
雙長使用壽命氧化釔銥絲
備有可選的圖形顯示器和現(xiàn)場(chǎng)總線接口
高真空皮拉尼自動(dòng)調(diào)節(jié)，減少操作員的干預(yù)
傳感元件帶有板載校準(zhǔn)數(shù)據(jù)，易于更換，可保證高再現(xiàn)性
符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)
新！ 現(xiàn)在提供 EtherCAT 數(shù)字接口！
對(duì)半導(dǎo)體過程和傳輸腔室的壓力測(cè)量
工業(yè)鍍膜
低真空至超高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制
*性：
1、 極寬的測(cè)量范圍從5X10-10毫巴至大氣壓（3.8X10-10乇至大氣壓）
2、 的重復(fù)性，過程壓強(qiáng)范圍從10-8…10-2毫巴均為5%
3、 皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)B-A型系統(tǒng)，防止燈絲過早燒毀和高壓強(qiáng)運(yùn)行產(chǎn)生污染
4、 兩根敷涂銥的氧化釔長壽燈絲
5、 可選圖形顯示和Fieldbus接口
6、 自動(dòng)高真空皮拉尼調(diào)整，減少操作人員的干預(yù)
7、 易于更換傳感元件，帶有在機(jī)校準(zhǔn)數(shù)據(jù)保證高度的重復(fù)性
8、 符合RoHS
用途：
1、 半導(dǎo)體工藝過程和傳輸室中的壓強(qiáng)測(cè)量
2、 工業(yè)鍍膜
3、 從低至超高真空范圍的一般真空測(cè)量和控制
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