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          行業(yè)產(chǎn)品
          
							
						
          
						
            
							
          • 行業(yè)產(chǎn)品
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          上海維翰光電科技有限公司
                                
                
                
          

							
          
                        			
          
		
          
	
          
	
	
          
		
          
            
          
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          日立高分辨冷場發(fā)射掃描電鏡Regulus8100
          
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          產(chǎn)品型號
          
							
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								更新時間：2023-05-31 09:47:08瀏覽次數(shù)：453次
							
          
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          經(jīng)營模式：其他
          
						
          商鋪產(chǎn)品：14條
          
						
          所在地區(qū)：上海上海市
          
																		
					
          
				
          
			
          			
          
                                
          
                    產(chǎn)品簡介
                
          
				
          
                      
          
                                                                      
          
					
          產(chǎn)品說明： Regulus8100是日立冷場發(fā)射掃描電鏡的*新系列，Regulus8100保留了SU8010易維護、易操作等優(yōu)點，進(jìn)一步提高性能，1kV減速模式下*高分辨率達(dá)到了0.8nm，15kV達(dá)到0.7nm，高低電壓均可...
          
				
          
				
          
                    詳細(xì)介紹
                
          
			    
          
			        
          
			                             
           
           
            
           Regulus8100是日立冷場發(fā)射掃描電鏡系列，Regulus8100保留了SU8010易維護、易操作等優(yōu)點，進(jìn)一步提高性能，1kV減速模式下*高分辨率達(dá)到了0.8nm，15kV達(dá)到0.7nm，高低電壓均可滿足高分辨的觀察。
           
           產(chǎn)品特點
           1.沿用"SU8200系列"的冷場發(fā)射電子槍*2
           2.采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間，使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的*佳性能；
           3.(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)；
           4.采用污染小、高真空樣品倉；
           5.運用能量過濾器(選配)，可觀察到多種成分對比度*2
           
            
           應(yīng)用領(lǐng)域
           2、半導(dǎo)體器件；
           4、生物醫(yī)學(xué)；
           技術(shù)參數(shù)           
                     
            項目  Regulus 8100  Regulus 8220  Regulus 8230  Regulus 8240 
           
            二次電子分辨率  0.7 nm(加速電壓15 kV)0.8 nm(著陸電壓1 kV）*3  0.6 nm（加速電壓 15 kV） 0.7 nm（著陸電壓 1 kV）*3 
           
            著陸電壓  0.1～2 kV  0.01～20 kV 
           
            放大倍率  20～1,000,000倍*4  20～2,000,000倍*4 
           
            樣品臺  樣品臺控制  3軸馬達(dá)臺（可選5軸馬達(dá)臺）  5軸馬達(dá)驅(qū)動 
           
            移動范圍  X  0～50 mm  0～50 mm  0～110 mm  0～110 mm 
           
            Y  0～50 mm  0～50 mm  0～110 mm  0～80 mm 
           
            R  360° 
           
            T  -5～70° 
           
            Z  1.5～30 mm  1.5～40 mm 
           
            再現(xiàn)性  -  -  -  ±0.5 µm以下含±0.5 µm 
                      
           *3減速模式下觀察
           *4以127 mm × 95 mm底片為基準(zhǔn)的倍率
           
                        
			        
          
			    
          
                                                				
          
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