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          行業(yè)產(chǎn)品

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          蘇州震拓自動化設(shè)備有限公司


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          Pfeiffer 普發(fā) ADPC 302 無菌室監(jiān)控系統(tǒng)、環(huán)境

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          具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

          產(chǎn)品型號pfeiffer普發(fā)

          品       牌

          廠商性質(zhì)其他

          所  在  地蘇州市

          聯(lián)系方式:李小姐查看聯(lián)系方式

          更新時間:2023-07-26 11:19:44瀏覽次數(shù):189次

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          經(jīng)營模式:其他

          商鋪產(chǎn)品:29條

          所在地區(qū):江蘇蘇州市

          聯(lián)系人:李小姐

          產(chǎn)品簡介

          類型:無菌室監(jiān)控系統(tǒng)品牌:pfeiffer普發(fā)型號:ADPC 302描述:普發(fā)污染管理解決方案

          詳細(xì)介紹

          Pfeiffer 普發(fā) ADPC 302 無菌室監(jiān)控系統(tǒng)、環(huán)境


          普發(fā) ADPC 302 無菌室監(jiān)控系統(tǒng)、環(huán)境.jpg


          產(chǎn)品規(guī)格:

          • 應(yīng)用:

            用于無菌室, 環(huán)境

          產(chǎn)品介紹:

          ADPC 302 是一款在半導(dǎo)體領(lǐng)域的用于粒子污染監(jiān)測的過程內(nèi)污染管理系統(tǒng)。

          高效粒子監(jiān)測
          亞微米粒子會造成可能導(dǎo)致相當(dāng)大產(chǎn)量損失的缺陷。即使是測量值為 0.1 μm 的最小粒子,也可能會損壞半導(dǎo)體芯片的結(jié)構(gòu)。創(chuàng)新的 ADPC 302 可測量晶片傳送載體內(nèi)的粒子數(shù)量(前開式晶圓傳送盒 FOUP,前開式裝運(yùn)箱 FOSB)。全自動的工藝從載體表面(包括門)對粒子進(jìn)行定位和計數(shù)。

          得益于的晶圓,該系統(tǒng)可用于成批生產(chǎn)和研發(fā)分析。主要應(yīng)用是載體特征化、清洗策略優(yōu)化和清洗質(zhì)量檢查。

          與傳統(tǒng)濕法相比較(液體顆粒計數(shù)器),ADPC 的干式工藝(干式粒子計數(shù)器)顯示出了明顯的優(yōu)勢。干式工藝的主要優(yōu)勢在于粒子測量是自動的。它是在生產(chǎn)過程中集成的,因此不再需要生產(chǎn)周期之外的時間。有了全自動測量,該過程無需額外的操作員。測試時間只需 7分鐘,意味著 ADPC 302 的速度是傳統(tǒng)系統(tǒng)的 4 倍??稍?1 個小時內(nèi)測試 8 個運(yùn)輸箱。


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