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Pfeiffer 普發(fā) APR 4300 無菌室監(jiān)控系統(tǒng)、環(huán)境

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產(chǎn)品型號pfeiffer普發(fā)

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更新時(shí)間：2023-07-25 10:23:04瀏覽次數(shù)：167次

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蘇州震拓自動化設(shè)備有限公司

經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：29條

所在地區(qū)：江蘇蘇州市

聯(lián)系人：李小姐

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產(chǎn)品簡介

類型：無菌室監(jiān)控系統(tǒng)品牌：pfeiffer普發(fā)型號：APR 4300描述：普發(fā)污染管理解決方案

詳細(xì)介紹

Pfeiffer 普發(fā) APR 4300 無菌室監(jiān)控系統(tǒng)、環(huán)境

普發(fā) APR 4300 無菌室監(jiān)控系統(tǒng)、環(huán)境.jpg

產(chǎn)品規(guī)格：

應(yīng)用:
用于無菌室, 環(huán)境

產(chǎn)品介紹：

APR 4300 可在分子層面上凈化 300 mm 的晶圓以及它們的運(yùn)輸箱 (FOUP)，并在等待時(shí)間內(nèi)保護(hù)它們。

可靠的凈化處理和預(yù)防污染
APR 是一個(gè)在等待時(shí)間內(nèi)凈化晶圓并防止污染的系統(tǒng)。空氣分子污染物（簡稱 AMC）降低了半導(dǎo)體生產(chǎn)中的產(chǎn)量和質(zhì)量而 APR 則能有效地防止晶圓和輸送箱表面吸附被污染的有機(jī)或無機(jī)分子。通過在 APR 室里進(jìn)行疏散，吸附概率大幅度減少。晶圓廠可通過這種方式顯著地增加產(chǎn)量，且各個(gè)工藝步驟之間的等待時(shí)間也會得到優(yōu)化。

APR 是如何工作的？
FOUP 既可以手動傳送，也可通過 2 個(gè)裝載端口上的懸掛式起重運(yùn)輸 (OHT) 來傳送。APR 是一個(gè)帶有四疊真空室的系統(tǒng)，用于對晶圓和 FOUP 作凈化去污處理，這項(xiàng)工作由一個(gè)可靠的機(jī)器人來擔(dān)任。所有腔室都配備了真空泵站、氣箱、操作面板以及帶電源的控制器。且這些腔室均可以單獨(dú)地進(jìn)行操作。當(dāng)把含有晶圓的 FOUP 裝載到腔室以后，腔室中的壓力減少到 0.1 mbar。然后進(jìn)行去污凈化處理。之后，該腔室采用潔凈的氮?dú)膺M(jìn)行吹掃并恢復(fù)到大氣壓。此時(shí)，這些晶圓以及運(yùn)輸箱不受污染已超過一天。

關(guān)鍵詞：監(jiān)控系統(tǒng) 機(jī)器人控制器

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