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上海唯科電氣有限公司
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所 在 地上海
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更新時(shí)間：2022-10-31 12:46:25瀏覽次數(shù)：207次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 智能制造網(wǎng)ZFH－5復(fù)合**高真空測量儀是上海唯科電氣有限公司研制的新一代智能復(fù)合真空測量儀，配用ZJ－54D熱偶規(guī)管及ZJ－12（B-A）真空電離規(guī)管，能測量267～1X10-8Pa之間的真空度。
1. 緒論
ZFH－5復(fù)合**高真空測量儀是上海唯科電氣有限公司研制的新一代智能復(fù)合真空測量儀，配用ZJ－54D熱偶規(guī)管及ZJ－12（B-A）真空電離規(guī)管，能測量267～1X10-8Pa之間的真空度。
由于在儀器中引入了單片微機(jī)，ZFH－5復(fù)合**高真空測量儀具有許多**性能：
采用單片微機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，真空度讀數(shù)數(shù)字顯示，測量結(jié)果直觀、明確、讀數(shù)方便。
電離規(guī)管的除氣可以自動(dòng)或手動(dòng)進(jìn)行。
量程自動(dòng)切換。當(dāng)真空度下降，**出電離規(guī)管測量范圍時(shí)，儀器可以自動(dòng)停止電離部分工作，顯示熱偶部分測量數(shù)據(jù)。當(dāng)真空度提高時(shí)，則可自動(dòng)啟動(dòng)電離部分工作。
采用帶有反饋環(huán)節(jié)的D/A電路控制熱偶加熱電流的大小，熱偶加熱電流可以數(shù)字設(shè)定，簡單、方便、直觀、準(zhǔn)確。
真空度單位自動(dòng)轉(zhuǎn)換。
具有多種測量顯示模式，顯示方式靈活多樣。
帶有三個(gè)繼電器觸點(diǎn)，動(dòng)作真空度可以數(shù)字設(shè)定。
當(dāng)真空度高于10-2Pa時(shí)，可以自動(dòng)標(biāo)定熱偶規(guī)管的加熱電流。
儀器帶有RS-232或RS-485串行數(shù)據(jù)通訊接口，與上位計(jì)算機(jī)通訊方便。
由于采用單片微機(jī)作為儀器的控制單元。ZFH-5復(fù)合**高真空測量儀除了上述特點(diǎn)外，它的另一個(gè)顯著特點(diǎn)是軟件可修改性強(qiáng)，可以在基本不動(dòng)或少動(dòng)儀器硬件結(jié)構(gòu)的情況下，修改儀器功 能，創(chuàng)造出功能全新的儀器。
2. .主要技術(shù)條件：
2.1 熱偶部分:
2.1.1 真空度測量范圍： 101KPa～0.1Pa
測量誤差： 267Pa～1Pa <±20%
2.1.2 加熱電流調(diào)節(jié)范圍： 30mA±2.4mA由數(shù)字設(shè)定
調(diào)節(jié)精度： <±0.5%±2字
2.1.3 配用規(guī)管: ZJ－54D 熱偶規(guī)管
2.2 電離部分：
2.2.1 真空度測量范圍： 10～1X10-8Pa
測量誤差： ±20%
2.2.2 電離規(guī)管發(fā)射電流： 400A±3%(10-1～10-7Pa)
4mA±3%(10-8Pa)
2.2.3 柵極電壓： 200V±1%
2.2.4 除氣啟動(dòng)真空度： 10-3Pa
2.2.5 除氣時(shí)間： 10分鐘
2.2.6 配用規(guī)管： ZJ-12
2.3 控制觸點(diǎn)：
2.3.1 控制觸點(diǎn)數(shù)： 3
2.3.2 控制觸點(diǎn)容量： 交流 220V/1A
2.4 使用環(huán)境：
2.4.1 環(huán)境溫度： +5～35度
2.4.2 相對(duì)濕度： <85%(25度 )
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