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          行業(yè)產(chǎn)品

          • 行業(yè)產(chǎn)品

          昆山熙日機(jī)械設(shè)備有限公司


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          BCG450 大氣壓至超高真空三合一真空計

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          具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

          產(chǎn)品型號

          品       牌

          廠商性質(zhì)其他

          所  在  地

          聯(lián)系方式:張小姐,李先生查看聯(lián)系方式

          更新時間:2022-11-28 12:26:39瀏覽次數(shù):186次

          聯(lián)系我時,請告知來自 智能制造網(wǎng)

          經(jīng)營模式:其他

          商鋪產(chǎn)品:203條

          所在地區(qū):

          聯(lián)系人:張小姐,李先生

          產(chǎn)品簡介

          BCG450大氣壓至超高真空三合一真空計INFICON貝阿德-阿爾珀特皮拉尼(Pirani)BCG450型電容式膜片真空計將三大不同技術(shù)的優(yōu)勢融合在一個單個、緊湊和經(jīng)濟(jì)的可以測量5×10-10到1500毫巴(3.75×10-10到1125托)的過程壓力和基準(zhǔn)壓力的工具包里

          詳細(xì)介紹

          BCG450 大氣壓至超高真空三合一真空計


           BCG450 Datasheet freigestellt.png

          INFICON貝阿德-阿爾珀特皮拉尼(Pirani)BCG450型電容式膜片真空計將三大不同技術(shù)的優(yōu)勢融合在一個單個、緊湊和經(jīng)濟(jì)的可以測量 5×10-10 到 1500 毫巴(3.75×10-10 到 1125 托)的過程壓力和基準(zhǔn)壓力的工具包里。 BCG450型電容式膜片真空計的設(shè)計旨在替代三個傳感器(熱離子、熱量增強(qiáng)型皮拉尼和真空開關(guān)),從而節(jié)省成本和寶貴的工具空間。

          益處

          • BCG450 可節(jié)省成本和工具空間,降低真空測量安裝與設(shè)置的復(fù)雜性

          • 10 托以上的壓力測量不受氣體類型限制,能夠?qū)θ魏螝怏w混合物提供更為可靠的加載互鎖控制

          • 皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)熱絲,防止過早燒毀

          • 高真空皮拉尼自動調(diào)節(jié),減少操作員干預(yù)

          • 大氣壓下的壓差測量消除了大氣壓力變化引起的不確定

          • 易于更換的傳感元件與板載校準(zhǔn)數(shù)據(jù)確保再現(xiàn)性

          • 備有可選的圖形顯示屏和現(xiàn)場總線接口

          • RoHS 合規(guī)

          典型應(yīng)用

          • 半導(dǎo)體過程、傳輸腔室和加載互鎖真空室的壓力測量

          • 工業(yè)鍍膜

          • 低真空和超高真空范圍內(nèi)系統(tǒng)的一般真空測量和控制

          新聞

          現(xiàn)有全新EtherCAT數(shù)字接口供應(yīng)!

          規(guī)格

          類型BCG450
          測量范圍5×10-10 … 1500
          精度
          10-8 … 50 毫巴% of reading±15
          50 … 950 毫巴% of reading±5
          950 … 1050 毫巴% of reading±2.5
          可重復(fù)性
          10-8 … 10-2 毫巴% of reading5
          熱離子發(fā)射mbar2×10-2 (high)
          (可選高/低,通過 RS232 / 現(xiàn)場總線)mbar8×10-3 (low)
          除氣 (1)
          p < 7.2 × 10-6mbarelectron bombardment, max. 3 min
          壓力,Z大bar (absolute)5
          溫度
          運(yùn)行(環(huán)境)°C0 … +50
          貯存°C-20 … +70
          在法蘭處烘烤°C80
          移除烘烤電子設(shè)備°C150
          電源電壓20 … 28
          輸出信號模擬
          輸出信號V0 … 10.3
          測量范圍輸出V0.774 … 10.3
          電壓與壓強(qiáng)之間的關(guān)系volts per decade0.75
          錯誤信號V0.3 / 0.5
          Z小負(fù)載k?10
          接口(數(shù)字)(2)
          RS232C
          連接器
          D-Sub, 15-pin, male
          電纜長度,Z大 (3)m (ft.)100 (330)
          暴露于真空的材料
          Yt2O3, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI2O3, SnAg, stainless steel, glass
          內(nèi)部容積 KF / CFcm3 (in.3)24 (1.46) / 34 (2.1)
          重量 KF / CFg285 / 550
          保護(hù)等級
          IP30
          DeviceNet™
          協(xié)議
          DeviceNet™, group 2 slave only
          數(shù)據(jù)率開關(guān)kBaud125, 250, 500 or network programmable
          電纜長度 125 kbpsm (ft.)500 (1650)
          電纜長度 250 kbpsm (ft.)250 (825)
          電纜長度 500 kbpsm (ft.)100 (330)
          MAC ID
          2 switches (address 00 - 63) or network programmable
          網(wǎng)絡(luò)規(guī)模
          up to 64 nodes per segment
          數(shù)字功能
          read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
          模擬功能
          0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
          可視通信指示器
          LED network status (green / red) ; LED module status (green / red)
          技術(shù)規(guī)格
          DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
          設(shè)備類型
          ''CG'' for combination gauge
          I / O 從屬傳訊
          polling only
          設(shè)定點繼電器: 設(shè)定點數(shù)量
          2
          設(shè)定點繼電器: 范圍mbar1×10-9 … 1400
          設(shè)定點繼電器: 繼電器觸點
          n.o., potential free
          設(shè)定點繼電器: 滯后% of reading10
          設(shè)定點繼電器: 觸點額定值60
          設(shè)定點繼電器: 連接器
          D-Sub, 15-pin, male
          DeviceNet™ 電源電壓11 … 25
          真空計電源電壓20 … 28
          DeviceNet™ 連接器
          Microstyle, 5-pin
          BCG(模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點)連接器
          D-Sub, 15-pin, male
          Profibus DP
          波特率9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
          地址
          2 switches (address 00 - 127) or network programmable
          數(shù)字功能
          read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
          模擬功能
          0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
          設(shè)定點繼電器: 設(shè)定點數(shù)量
          2
          設(shè)定點繼電器: 范圍mbar1×10-9 … 1400
          設(shè)定點繼電器: 繼電器觸點
          n.o., potential free
          設(shè)定點繼電器: 滯后% of reading10
          設(shè)定點繼電器: 觸點額定值60
          Profibus DP 連接器
          D-Sub, 9-pin, female
          BCG(模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點)連接器
          D-Sub, 15-pin, male
          以太網(wǎng)
          以太網(wǎng)協(xié)議
          protocol specialized for EtherCAT
          通訊標(biāo)準(zhǔn)
          ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
          節(jié)點地址
          Explicit Device Identification
          物理層
          100BASE-Tx (IEEE 802.3)
          以太網(wǎng)數(shù)字功能
          read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission control, degas function monitor gauge status, filament status safe state allows definition of behavior in case of error detailed alarm and warning information
          過程數(shù)據(jù)
          Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
          郵箱 (CoE)
          SDO requests, responses and information
          以太網(wǎng)連接件
          RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
          電纜
          shielded Ethernet CAT5e or higher
          電纜長度m (ft.)≤100 (330)

          (1) 除氣期間降低精度

          (2) 同時使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器,不允許使用現(xiàn)場總線

          (3) 適用于 RS232C 運(yùn)行 <30m

          零件號

          BCG450
          零件號明細(xì)
          353-550BCG450 規(guī)管
          353-561BCG450 TripleGauge; DN 25 ISO-KF; Baffle
          353-551BCG450 TripleGauge; DN 40 CF-R
          353-552BCG450 規(guī)管
          353-553BCG450 TripleGauge; DN 40 CF-R
          353-554BCG450-SP TripleGauge; DN 25 ISO-KF
          353-556BCG450-SP TripleGauge; DN 40 CF-R
          353-557BCG450-SD TripleGauge; DN 25 ISO-KF
          353-558BCG450-SD TripleGauge; DN 40 CF-R.
          353-592BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
          353-593BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R

          附件

          BCG450
          零件號明細(xì)
          353-511BPG400 24V電源


          353-512Baffle for BPG400

          211-113中心圈 with baffle DN 25 KF


          附件

          BCG450
          零件號明細(xì)
          353-511BPG400 24V電源


          353-512Baffle for BPG400

          211-113中心圈 with baffle DN 25 KF




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