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SKY® CDG025D-X3 真空計

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更新時間：2022-11-27 12:51:12瀏覽次數(shù)：159次

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產(chǎn)品簡介

SKY®CDG025D-X34-20mAcurrentloop0.1...1000托/毫巴過程壓力真空計INFICONSKYCDG025D電容膜片真空計屬于高精度溫度補(bǔ)償型真空計，在苛刻的生產(chǎn)環(huán)境中具有穩(wěn)定的性能

詳細(xì)介紹

SKY® CDG025D-X3 4-20mA current loop 0.1 ... 1000 托 / 毫巴過程壓力真空計

INFICON SKY CDG025D 電容膜片真空計屬于高精度溫度補(bǔ)償型真空計，在苛刻的生產(chǎn)環(huán)境中具有穩(wěn)定的性能。的數(shù)字電子設(shè)備提高真空計的性能和易于使用的特點，如一鍵調(diào)零功能和設(shè)定點調(diào)整。抗腐蝕性的超純陶瓷傳感器具有的零點穩(wěn)定性和預(yù)計數(shù)百萬次壓強(qiáng)周期（包括大氣沖擊）的長使用壽命。的傳感器屏蔽（申請中）保護(hù)真空計免受過程污染。堅固耐用的機(jī)械設(shè)計和數(shù)字電子設(shè)備改善了 EMC 兼容性、長期穩(wěn)定性和溫度補(bǔ)償。 CDG025D 為電源接通后的快速穩(wěn)定與暴露大氣壓后的快速恢復(fù)等特性設(shè)定了新標(biāo)準(zhǔn)。

CDG025D 4-20mA.png

益處

全刻度范圍從 100 毫托 … 1000 托
電源接通后快速穩(wěn)定
暴露于大氣壓后快速恢復(fù)
防腐陶瓷傳感器
的長期信號穩(wěn)定性
溫度補(bǔ)償
傳感器防污染雙層保護(hù)
一鍵調(diào)零功能
電源范圍廣
2 個設(shè)定點
RS232 接口
Remote zero included
符合潔凈室標(biāo)準(zhǔn)
Status LED

典型應(yīng)用

用于刻蝕、CVD、PVD、ALD 的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備
數(shù)據(jù)存儲和顯示制造設(shè)備
工業(yè)真空設(shè)備
常規(guī)高精度壓力測量

規(guī)格

類型		1000 Torr / 1100 mbar	500 ... 10 Torr / mbar	1 Torr / mbar	0.25 Torr	0.1 Torr / mbar
精度 (1)	% of reading	0.2	0.2	0.2	0.25	0.5
溫度效應(yīng)
零點	percent FS/°C	0.005	0.005	0.015	0.02	0.02
滿量程	% of reading / °C	0.01	0.01	0.01	0.03	0.03
分辨率	percent FS	0.003	0.003	0.003	0.003	0.003
壓力，Z大	kPa (absolute)	300	200	200	200	130
反應(yīng)時間 (2)	ms	≤100	≤100	≤100	≤100	≤100
Z低讀數(shù)	percent FS	0.01	0.01	0.01	0.01	0.01
建議的Z低讀數(shù)	percent FS	0.05	0.05	0.05	0.05	0.05
建議的Z低控制壓力	percent FS	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5
溫度
運(yùn)行（環(huán)境）	°C	+5 … +60	+5 … +60	+5 … +60	+5 … +60	+5 … +60
在法蘭處烘烤 (4)	°C	≤110	≤110	≤110	≤110	≤110
貯存	°C	–20 … +65	–20 … +65	–20 … +65	–20 … +65	–20 … +65
電源電壓	V (dc)	+21 … +27	+21 … +27	+21 … +27	+21 … +27	+21 … +27
76b34a4a-4e29-4c2f-b9f5-f7c162f44101
		2-wire, current loop	2-wire, current loop	2-wire, current loop	2-wire, current loop	2-wire, current loop
Signal range	mA	3.8 ... 20.2	3.8 ... 20.2	3.8 ... 20.2	3.8 ... 20.2	3.8 ... 20.2
Measuring range (zero ...FS)	mA	4.0 ... 20.0	4.0 ... 20.0	4.0 ... 20.0	4.0 ... 20.0	4.0 ... 20.0
Relationship current-pressure		linear	linear	linear	linear	linear
Loaded impedance RL
33b4d39f-dcb0-4da6-b8bb-405bbe6e5695		typical 500Ω ±1% 24±3 V (dc) (4)	typical 500Ω ±1% 24±3 V (dc) (4)	typical 500Ω ±1% 24±3 V (dc) (4)	typical 500Ω ±1% 24±3 V (dc) (4)	typical 500Ω ±1% 24±3 V (dc) (4)
absolute		309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)	309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)	309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)	309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)	309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)
absolute		309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)	309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)	309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)	309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)	309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)
absolute		309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)	309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)	309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)	309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)	309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)
remote zero input
		2-wire, current loop	2-wire, current loop	2-wire, current loop	2-wire, current loop	2-wire, current loop
High level		+21 ... +27 V(dc) / ≤8 mA	+21 ... +27 V(dc) / ≤8 mA	+21 ... +27 V(dc) / ≤8 mA	+21 ... +27 V(dc) / ≤8 mA	+21 ... +27 V(dc) / ≤8 mA
Low level	V (dc)	≤2
Remote zero function
High level (pulse >1s)		auto zero adjust	auto zero adjust	auto zero adjust	auto zero adjust	auto zero adjust
Low level			measurement operation	measurement operation	measurement operation	measurement operation
保護(hù)等級		IP 30	IP 30	IP 30	IP 30	IP 30
標(biāo)準(zhǔn)
CE 合規(guī)		EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010, 61326-1 & RoHS	EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010, 61326-1 & RoHS	EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010, 61326-1 & RoHS	EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010, 61326-1 & RoHS	EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010, 61326-1 & RoHS
ETL 認(rèn)證		UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1	UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1	UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1	UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1	UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1
電氣連接		D-Sub, 9-pin, male	D-Sub, 9-pin, male	D-Sub, 9-pin, male	D-Sub, 9-pin, male	D-Sub, 9-pin, male
Sensor cable
Without remote zero		two-wire cable plus shielding, twisted	two-wire cable plus shielding, twisted	two-wire cable plus shielding, twisted	two-wire cable plus shielding, twisted	two-wire cable plus shielding, twisted
With remote zero		four-wire cable plus shielding, twisted	four-wire cable plus shielding, twisted	four-wire cable plus shielding, twisted	four-wire cable plus shielding, twisted	four-wire cable plus shielding, twisted
暴露于真空的材料		Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5))	Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5))	Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5))	Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5))	Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5))
內(nèi)部容積
內(nèi)部容積 1/2'' 管	cm3 (in.3)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)
內(nèi)部容積 DN 16 ISO KF	cm3 (in.3)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)
內(nèi)部容積 DN 16 CF-R	cm3 (in.3)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)
內(nèi)部容積 8 VCR®	cm3 (in.3)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)
重量
重量 1/2'' 管	g	310	310	310	310	310
重量 DN 16 ISO KF	g	330	330	330	330	330
重量 DN 16 CF-R	g	350	350	350	350	350
重量 8 VCR®	g	370	370	370	370	370