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QMG 700 分析質(zhì)譜儀

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QMG700分析質(zhì)譜儀QMG700的一些變體將于2018年1月31日停止使用質(zhì)量范圍1024amu和2048amu質(zhì)量范圍16amu和340amu離子光學(xué)系統(tǒng)QMG725系統(tǒng)超越檢測(cè)極限且達(dá)到優(yōu)異的穩(wěn)定性和細(xì)微的分辨率半導(dǎo)體制造技術(shù)的快速發(fā)展有賴于靈敏而可靠的氣體分析解決方案

詳細(xì)介紹

QMG 700 分析質(zhì)譜儀

QMG700分析型質(zhì)譜儀.jpg

QMG 700的一些變體將于2018年1月31日停止使用

質(zhì)量范圍1024 amu和2048 amu
質(zhì)量范圍16 amu和340 amu
離子光學(xué)系統(tǒng)
QMG 725系統(tǒng)

超越檢測(cè)極限且達(dá)到優(yōu)異的穩(wěn)定性和細(xì)微的分辨率

半導(dǎo)體制造技術(shù)的快速發(fā)展有賴于靈敏而可靠的氣體分析解決方案。在工廠或?qū)嶒?yàn)室中，選擇 INFICON QMG 700 分析質(zhì)譜儀以突破檢測(cè)極限，推動(dòng)工藝創(chuàng)新，提升工藝水平。QMG 700 的模塊化設(shè)計(jì)帶來的性能和適應(yīng)性。利用 QMG 700 增強(qiáng)競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)，獲得出眾的測(cè)量能力。

根據(jù)具體的應(yīng)用要求，選擇配制合適的離子源、濾質(zhì)器和射頻電源，可量身定制QMG 700。QMG 700有超過九個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)測(cè)量量程，達(dá)到ppb 檢測(cè)量級(jí)，這種優(yōu)勢(shì)使其成為超高真空測(cè)量的理想選擇。QMG 700 對(duì)整個(gè)質(zhì)量范圍都有很高的分辨率，對(duì)較低的質(zhì)量可獲得更高的分辨率。對(duì)于某些挑戰(zhàn)性的測(cè)量應(yīng)用，如同位素分析，氦和氘分離等，QMG 700是的選擇。QMG 700 出色的長期穩(wěn)定性可保證關(guān)鍵性的測(cè)量，有效控制您的工藝。

INFICON 在分析質(zhì)譜儀領(lǐng)域五十多年的歷史和的技術(shù)，確保QMG 700 成為進(jìn)行氣體分析的正確選擇。依賴 INFICON QMG 700 以及我們享譽(yù)世界的應(yīng)用專長，您可獲得始終如一的高精度測(cè)量數(shù)據(jù)。

功能

質(zhì)量范圍選擇為 1-2048 amu
超過九個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)量程
極快的測(cè)量速度：0.125 ms/amu
MDPP < 10E-16 mbar
涵蓋整個(gè)質(zhì)量范圍的高分辨率：質(zhì)量 1、2 和 3 可在 ppb 范圍內(nèi)清晰地分離
超過 10 個(gè)不同的離子源和離子光學(xué)組合
離散或連續(xù)倍增電極電子倍增器選件
用于正負(fù)離子以及中性粒子分析的離子計(jì)數(shù)前置放大器
IO 選項(xiàng)：8 個(gè)模擬輸入/輸出和 32 個(gè)數(shù)字輸入/輸出
軟件功能強(qiáng)大，靈活實(shí)用且具友好的用戶界面

典型應(yīng)用

Gas discharge mass spectrometry
End point detection
Deposition material monitoring
Secondary ion mass spectrometry

規(guī)格

類型	QMA 400	QMA 410	QMA 430
質(zhì)量范圍	1-2048 amu (1)	1-340 amu (2)	1-300 amu
傳感器長度	441.5 mm	548 mm	441.5 mm
桿直徑	8 mm	16 mm	8 mm
桿材料	Molybdenum	Molybdenum	Stainless Steel
法蘭	DN 63 CF-F	DN 100 CF-F	DN 63 CF-F
檢測(cè)器類型	Faraday/SEV 217	Faraday/SEV 217	Faraday/SEV 217
Z大工作壓力 (FC)	1 E-4 mbar	1 E-4 mbar	1 E-4 mbar
Z大工作壓力 (EM)	1 E-5 mbar	1 E-5 mbar	1 E-5 mbar
靈敏度	5 E-4 A/mbar	1 E -3 A/mbar	2 E-4 A/mbar
Z小可檢測(cè)分壓	1 E-15 mbar	5 E-16 mbar	1 E-15 mbar
分辨率（可調(diào)）	0.3 - 7 amu	0.2 - 2.2 amu	0.3 - 7 amu
分壓比	< 0.5 ppb	< 0.5 ppb	< 0.5 ppb
Z高工作溫度傳感器	150 °C	150 °C	150 °C
Z高烘烤溫度	400 °C	400 °C	400 °C
Z高工作溫度電子單元	40 °C	40 °C	40 °C
測(cè)量速度	0.125 ms - 60 s/amu	0.125 ms - 60 s/amu	0.125 ms - 60 s/amu
電源	100 - 240 VAC	100 - 240 VAC	100 - 240 VAC

(1) QMA 400 的可檢測(cè)質(zhì)量范圍為：1-512 amu、1-1024 amu、1-2048 amu。

QMA 400 的規(guī)格基于 512 amu 質(zhì)量范圍、聚焦離子源系統(tǒng)配置

(2) QMA 410 的可檢測(cè)質(zhì)量范圍： 1-16 amu、1-128 amu、1-340 amu。

QMA 410 的規(guī)格基于 128 amu 質(zhì)量范圍、聚焦離子源系統(tǒng)配置

零件號(hào)

QMA 400
零件號(hào)	明細(xì)
490-709
490-710	QMA 400 with axial Ionenq.
490-711	QMA 400, 8mm Mo,217, W, CB
490-712	QMA 400 mit CB-IQ, MAG
490-713	QMA 400, 8mm Mo,217, CB-GT
490-721	QMA 400 mit CB_Ionenq. gasd.
490-722	QMA 400 m. CB-IQ, Y-Kat., Mag. isol.
490-755
490-756	QMA 400, 8mm Mo, UF6
490-756-2	QMA 400, 8mm Mo, UF6 Untested Assembly
490-769	QMA 400, SEM 217, crossbeam, Yt, 2LO
490-770	QMA 400 mit CB-Ionenq.gasd., spezial
490-772	QMA 400 with Axial Ionenq, W
BKM07627
PTM07736	QMA 400 mit Crossb.-Ionenq.
QMA 410
零件號(hào)	明細(xì)
490-811	QMA 410 Cross Beam IS w/ Magnet
490-813	QMA 410, CB-IQ Gas-Tight with Magnet
490-816	QMA 410,16mm Mo,217, W, CB
QMA 430
零件號(hào)	明細(xì)
490-911	QMA 430, 8mm SS,217, W, CB
490-911/S	QMA 430, 8mm SS,217, W, CB
490-912	QMA 430, 8mm SS,217, W, CB-GT
490-921	QMA 430, 8mm SS,217, W, CB (GIA)