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浚和（上海）儀器有限公司
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所 在 地上海市
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更新時間：2023-04-02 17:01:01瀏覽次數(shù)：459次
聯(lián)系我時，請告知來自 智能制造網(wǎng)YAMATO潔凈厭氧高溫氣氛爐DTN430C/630C/450C/650C
潔凈度100級、氧濃度低于20ppm的氣氛爐，主要應用于固化半導體晶圓等。 型號 DTN430C DTN630C DTN450C DTN650C 方式 氮氣置換+ 強制送風循環(huán) 性能 使用溫度范圍 室溫+50～360℃ 室溫+50～500℃ 溫度調(diào)節(jié)精度 ±0.5℃（at360℃） ±1.0℃（at500℃） 溫度分布精度 ±5.0℃（at360℃） ±8.0℃（at500℃） 溫度到達時間 約80分鐘 約110分鐘 氧濃度 20ppm 以下 氧濃度到達時間 ≤ 20分（250L/min 氮氣） ≤ 25分（250L/min 氮氣） ≤ 20分（250L/min 氮氣） ≤ 25分（250L/min 氮氣） 潔凈度 溫度恒定時100級 構(gòu)成 內(nèi)裝 不銹鋼板 外裝 冷軋鋼板，表面耐藥品性涂裝 斷熱材 硅酸鋁棉 加熱方式 不銹鋼加熱管 加熱功率 主加熱器 6.75KW 9KW 9.5KW 14.2KW N2預熱 1KW 冷卻機構(gòu) 不銹鋼冷卻水換熱器 HEPA過濾器 集塵效率：0.3um粒子99.97%以上 控制器 溫度控制方式 PID控制 溫度控制器 液晶觸摸屏+PLC 運行功能 手動定值運行、自動程序運行 程序模式 程序運行9個，每個程序可設(shè)置9步（可擴展） 附加功能 操作員等級認證 加熱器回路控制 SSR驅(qū)動 傳感器 K型熱電偶（溫度控制及過升防止器） 安全裝置 門檢測開關(guān)、過升防止器、氧濃度異常、N2 預熱溫度過升、水壓低檢測、N2 壓力低檢測、冷卻水流量檢測、N2 流量檢測、 風機過載檢測、過電流漏電保護開關(guān)等 規(guī)格 內(nèi)尺寸（寬×深×高mm） 450×450×450 660×500×660 450×450×450 660×500×660 外形尺寸（寬×深×高mm） 1090×950×1540 1300×1000×1750 1240×1010×1750 1450×1060×1960 內(nèi)容積 91L 216L 91L 216L 棚板層數(shù)/層間距 12層/30mm 19層/30mm 12層/30mm 19層/30mm 排氣口 40KF法蘭 氮氣入口 Rc1/2 冷卻水入口 Rc3/4 熱水出口 Rc3/4，2個 電源（50/60Hz）額定電流 3相AC380V 16A 3相AC380V 19A 3相AC380V 20A 3相AC380V 27A 重量 約900kg 約1100kg 約900kg 約1100kg 選購品 棚板、真空泵、溫度記錄儀、組合警示燈（待機/ 運行/ 故障）、以太網(wǎng)通信功能
特點
● 工作溫度360℃和500℃、潔凈度100級、氧濃度低于20ppm，主要應用于固化半導體晶圓（光刻膠PI、PBO固化）、玻璃基板烘烤、高精度退火處理等。
● 采用耐熱高性能高效過濾器，箱內(nèi)潔凈度始終保持在100級，可在潔凈的環(huán)境下進行高溫烘烤。
● 高氣密性的壓力箱構(gòu)造，氧濃度到達時間短，N2消耗量極低。
● 通過磁密封保持高氣密性，并采用水冷機構(gòu)保護密封部件免受熱量影響。
● 可實現(xiàn)快速升溫和降溫，升降溫速率可調(diào)節(jié)。
● 標準裝備有廢液回收裝置，對氣體進行冷卻回收。
● 液晶觸摸屏操作，自動/手動兩種運行模式。
安全性
● 擁有門檢測開關(guān)、溫度過升防止器、氧濃度異常、氮氣壓力檢測、氮氣流量檢測、冷卻水流量檢測、漏水傳感器、過電流漏電保護開關(guān)等安裝裝置。
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