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橢圓偏振光譜儀

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產(chǎn)品型號Semilab SE-2000

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更新時間：2023-02-28 08:11:20瀏覽次數(shù)：423次

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產(chǎn)品簡介

特點規(guī)格量測厚度,反射率,吸收率,表面結(jié)構(gòu)量測波長632

詳細介紹

特點	規(guī)格
量測	厚度, 反射率, 吸收率, 表面結(jié)構(gòu)
量測波長	632.8 nm(He-Ne 雷射)
量測時間	100 ms~2 s
量測厚度	2 nm~6000 nm
樣品平臺	200 mm (自動 Rho/Theta)
反射角檢測	自動 / 手動
角度	45° – 90° / 12° – 90°
變化角度	5° / 1°
重復(fù)性	0.01°
準確度	Psi：0.002° Delta：0.002°
厚度精確度	0.01nm( 80nm Si3N4 on Si)

以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實性、準確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負責，智能制造網(wǎng)對此不承擔任何保證責任。溫馨提示：為規(guī)避購買風險，建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。

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