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光刻膠顯影機(jī)

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光刻膠顯影機(jī)PRD405/408/409是自動(dòng)批量顯影和沖洗晶片和光掩模上正性光刻膠工作站

詳細(xì)介紹

光刻膠顯影機(jī)PRD405/408/409是自動(dòng)批量顯影和沖洗晶片和光掩模上正性光刻膠工作站。光刻膠顯影機(jī)利用一個(gè)處理槽進(jìn)行顯影和沖洗，以快速有效地處理晶片?？焖偬畛浜团趴诊@影劑水和直接注入水可精確控制循環(huán)時(shí)間。顯影劑被連續(xù)過(guò)濾并自動(dòng)補(bǔ)充，溫度被精確保持，以實(shí)現(xiàn)可靠和可重復(fù)的過(guò)程。
光刻膠顯影機(jī)PRD405是理想的自動(dòng)批量顯影和晶片和光掩模上的正抗蝕劑沖洗的解決方案,?？焖偬畛浜团趴諆烧唢@影劑和去離子水提供精確控制循環(huán)時(shí)間。連續(xù)過(guò)濾顯影劑并自動(dòng)補(bǔ)充，溫度降低準(zhǔn)確維護(hù)，確?？煽啃院涂芍貜?fù)性過(guò)程.
光刻膠顯影機(jī)特點(diǎn)
適合6英寸晶片
高容量顯影劑填充，快速再現(xiàn)
晶片的厚度和設(shè)計(jì)可限度地減少發(fā)泡
溫度范圍為50~100F,分辨率為±0.3F
可調(diào)機(jī)械攪拌，均勻攪拌顯影
用于快速排空的大型快速排放閥顯影機(jī)周期結(jié)束時(shí)
六個(gè)DI水噴嘴，快速有效顯影周期終止
快速填充和傾倒直流水，實(shí)現(xiàn)快速循環(huán)
使用儲(chǔ)液罐顯影劑噴涂組件
從工藝罐和容器中排除水
顯影劑正態(tài)性的維持
顯影劑儲(chǔ)層的氮屏障
自動(dòng)補(bǔ)充，用于維護(hù)

? 0.45μm顯影劑過(guò)濾

? 可編程微處理器控制