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北京壯仕科技有限公司
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更新時(shí)間：2022-10-13 13:01:09瀏覽次數(shù)：251次
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小型三靶等離子濺射儀VTC--16-3HD
| 視頻 |
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| 主要參數(shù) | 輸入電源：220V 通用 功率：<>
工作電流： 濺射電流：0-50 mA可調(diào)
單次工作時(shí)間：0-5分鐘可調(diào)
靶頭數(shù)目：3個(gè)
輸出電壓：1600V DC
樣品臺(tái)加熱溫度：500℃（選配，詳細(xì)請(qǐng)聯(lián)系售后） | |||||||||||||||
| 濺射腔體 | 采用石英腔體，尺寸：166 mm OD x 150 mm ID x 150 mm H
密封：O形密封圈密封 | |||||||||||||||
| 樣品臺(tái) | 一個(gè)外徑50 mm 的樣品臺(tái),用于盛放基片，可以電動(dòng)控制移動(dòng)三個(gè)位置
濺射距離：濺射距離可調(diào) 可選購(gòu)加熱型樣品臺(tái)（溫度可到500℃）
PID控制器控溫精度+/- 1℃（已集成到觸摸屏上） | |||||||||||||||
| 控制面板 | 控制面板為PLC，4.3" 觸摸屏
一個(gè)控制面板可以控制所有的參數(shù),包括真空度,電流,靶材位置和基片加熱溫度 | |||||||||||||||
| 真空泵（選配） | 用機(jī)械泵真空度達(dá) 50 mtorr（僅供參考，詳情請(qǐng)點(diǎn)擊）
用分子泵真空度可達(dá) 10-4 torr（僅供參考，詳情請(qǐng)點(diǎn)擊） | |||||||||||||||
| 進(jìn)氣口 | 一個(gè)精密可調(diào)針閥安裝在進(jìn)氣口，以實(shí)現(xiàn)方便的調(diào)節(jié)進(jìn)氣量 | |||||||||||||||
| 靶材 | 要求安裝靶材的尺寸：直徑Φ47mm,厚度0.5-3mm
可在本公司選購(gòu)靶材,具體請(qǐng)點(diǎn)擊鏈接 | |||||||||||||||
| 外形尺寸 | 460mm×330mm×540mm (L×W×H)
凈重:50KG（不包括泵） | |||||||||||||||
| 質(zhì)保期 | 一年保修，終身技術(shù)支持。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 | |||||||||||||||
| 質(zhì)量認(rèn)證 | | |||||||||||||||
| 各種靶材的參數(shù)（僅供參考） | 對(duì)于濺射各種金屬靶材，需要摸索的濺射參數(shù)，下表是本公司實(shí)驗(yàn)所設(shè)置的參數(shù)（僅供參考，詳情請(qǐng)點(diǎn)擊）
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| 使用注意事項(xiàng) | 由于能量低，該模型不適用于涂層的輕金屬材料如Al，Mg，Zn，Ni。請(qǐng)考慮我們的磁控濺射鍍膜機(jī)或熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)。點(diǎn)擊下面圖片查看細(xì)節(jié)
有時(shí)為了達(dá)到理想的薄膜厚度，可能需要多次濺射鍍膜
為了得到較好的薄膜質(zhì)量，必須通入高純氣體（建議> 5N）
在濺射鍍膜前，確保濺射頭、靶材、基片和樣品臺(tái)的潔凈
要達(dá)到薄膜與基底良好結(jié)合，請(qǐng)?jiān)跒R射前清潔基材表面
超聲波清洗（詳細(xì)參數(shù)點(diǎn)擊下面圖片):(1)丙酮超聲（2）異丙醇超聲-去除油脂（3）吹氮?dú)飧稍铮?）真空烘箱除去水分。
等離子清洗（詳細(xì)參數(shù)點(diǎn)擊下面圖片):可表面粗糙化，可激活表面化學(xué)鍵，可祛除額外的污染物
制造一個(gè)薄的緩沖層（5納米左右）：如Gr，Ti，Mo，Ta，可以應(yīng)用于改善金屬和合金的附著力
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| 警告 | 注意：產(chǎn)品內(nèi)部安裝有高壓元件，禁止私自拆裝，帶電移動(dòng)機(jī)體
氣瓶上應(yīng)安裝減壓閥（設(shè)備標(biāo)配不包括），保證氣體的輸出壓力限制在0.02兆帕
濺射頭連接到高電壓。為了安全，操作者必須在關(guān)閉設(shè)備前裝樣和更換靶 |
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