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          塔瑪薩崎電子（蘇州）有限公司
                                
                
                
          

							
          
                        			
          
		
          
	
          
	
	
          
		
          
            
          
                當(dāng)前位置：塔瑪薩崎電子（蘇州）有限公司>>DNK科研>>光刻機(jī)  曝光機(jī)>>日本DNK科研曝光機(jī)MA-1400光刻機(jī)
            
          
			
          
				
          
					
          日本DNK科研曝光機(jī)MA-1400光刻機(jī)
          
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          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          
				
          
				
				
          
						
          
							
          產(chǎn)品型號(hào)
          
							
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          聯(lián)系方式：黃羅龍查看聯(lián)系方式
          
									                                                 
          
						
          
							
          
								更新時(shí)間：2023-07-25 20:06:11瀏覽次數(shù)：292次
							
          
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                    產(chǎn)品簡(jiǎn)介
                
          
				
          
                      
          
                                                                      
          
					
          簡(jiǎn)單介紹：                            產(chǎn)品信息實(shí)驗(yàn)?研究用曝光裝置簡(jiǎn)練設(shè)計(jì)的手動(dòng)式整面單次曝光裝置。主要特長(zhǎng)對(duì)應(yīng)玻璃、Wafer、膠片等基材的實(shí)驗(yàn)研究用手動(dòng)整面單次曝光機(jī)。也適合小批量生產(chǎn)?？蛇x擇接觸曝光(軟接觸、硬接觸)和近接曝光。對(duì)應(yīng)*大尺寸為500mm×500mm的基板。根據(jù)用途和基板尺寸,配置有*佳組合的光學(xué)系統(tǒng)。其中包括:超高壓水銀燈(500W?1kW?2kW?3.5kW)、各種光學(xué)鏡、特殊鏡頭、聚光鏡等
          
				
          
				
          
                    詳細(xì)介紹
                
          
			    
          
			        
          
			                     
                       詳情介紹：         
                   
                       
           光刻機(jī)介紹 
           
           曝光裝置  MA-1200 基板追大尺寸 200 x 200mm ?4″ ～ ?6″   
           
           光源 超高壓水銀燈 ：500W or 1kW  
           
           曝光裝置 MA-1400  基板追大尺寸400 x 400mm  
           
           光源 超高壓水銀燈 ：2kW or 3.5kW  
           
           LED,LN曝光裝置MA-4000 圓晶尺寸?2～4″或者?4～6″  
           
           光源 超高壓汞燈：500W 或 1kW  
           
           ?200mm/?150 mm 對(duì)應(yīng)曝光裝置MA-4301M   材料SI 玻璃， 對(duì)齊精度自動(dòng)對(duì)齊：+/- 1 μm（
           峰值搜索）            
           
           ?300mm對(duì)應(yīng)曝光裝置MA-5301ML  光源超高壓汞燈：3.5kW  ?200mm規(guī)格也可對(duì)應(yīng)  
           
           マスクレス露光裝置MX-1201 曝光掃描速度43.94mm/s  有效曝光區(qū)域200 x 200 追大曝光量（※3）245/70/245+70
           マスクレス露光裝置MX-1201E  曝光掃描速度22.5mm/s  有效曝光區(qū)域200 x 200 追大曝光量（※3）460/70135            
           
           マスクレス露光裝置MX-1205  曝光掃描速度9/4.5mm/s  有效曝光區(qū)域100 x 100 追大曝光量（※3）100/50  
           
              
           
           主要規(guī)格  
           
           
           
           
             
           MA-1200、MA-1400 
                       
           
           
            
            
                MA-1200   MA-1400  
                       
            基板尺寸   追大 200 x 200mm ?4″ ～ ?6″   追大 400 x 400mm  
           
            光源   超高壓水銀燈 ：500W or 1kW   超高壓水銀燈 ：2kW or 3.5kW  
           
            外觀尺寸及重量   本體尺寸   W1240 x D1100 x H1725 mm   W1440 x D1590 x H1882 mm  
           
            本體重量   400kg   400kg(包含無(wú)塵機(jī)房)  
           
            光源重量   －   250kg  
           
            選購(gòu)項(xiàng)   無(wú)塵機(jī)房、背面對(duì)位、硬接觸(真空密著式)、自動(dòng)對(duì)位、對(duì)應(yīng)破碎基板等特殊尺寸(需商洽)。  
                      
           
            
           ※基板尺寸和水銀燈瓦數(shù)及特殊規(guī)格可商洽 
                       
           
           
           
           
                       
           
           
           
             
           
             
                   
               
			        
          
			    
          
                                                				
			
          
			
          
		
          
	
          
	
    
          
		
          
			
          
				
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