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小型快速熱退火爐

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產(chǎn)品型號MILA-5000Series

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更新時間：2023-03-01 12:30:29瀏覽次數(shù)：234次

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凱戈納斯儀器商貿(mào)（上海）有限公司

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產(chǎn)品簡介

小型快速熱退火爐已經(jīng)成為半導(dǎo)體、鐵電體以及鍍膜行業(yè)的重要退火技術(shù)。但是目前，只有大型的、昂貴的生產(chǎn)設(shè)備才能完成快速熱處理，這大大降低了研發(fā)工作的效率（尤其是小的樣品）。為了滿足市場的需求，ADVANCE RIKO研發(fā)出MILA-5000系列的小型快速退火爐。此系列的設(shè)備包含紅外金面反射爐和高精度的溫度控制器。根據(jù)需求選配相應(yīng)的泵和氣體接口，MILA能提供與大型RTP設(shè)備相同的熱處理性能。

詳細介紹

詳情介紹：

型號	MILA-5000Series
溫度范圍：	室溫~1200℃（*高）
*大加熱功率：	50℃/s（50~1200℃）真空 45℃/s（50~1200℃）氮氣氛圍
溫度均勻性：	±2.0℃（ΔT=4℃）1200℃真空 ±4.5℃（ΔT=9℃）1200℃氮氣氛圍
加熱氣氛:	大氣、真空、惰性氣氛環(huán)境下
試樣尺寸:	MAX：50 square or φ 50 x T5 (mm)
程序模組：	溫度VS時間設(shè)定、Step數(shù)256、Program數(shù)32（*大）； PID+Fuzzy控制、自動微調(diào)、USB通訊、自動/手動切換；