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Quantum Design China(Beijing)
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更新時間：2022-10-12 15:25:50瀏覽次數(shù)：320次
聯(lián)系我時，請告知來自 智能制造網(wǎng)--30nm光學信號空間分辨率太赫茲（THz）光源波長較大，一般在300微米左右。由于衍射極限的存在，THz遠場測量系統(tǒng)的光學空間分辨率一般被限制在150微米左右。該THz光遠場測量結果的準確度經(jīng)常無法滿足對材料科學研究，尤其是需要納米分辨率的微細尺度材料分布研究（例如半導體芯片中各個組成：源極，漏極，柵極）的實驗。THz-NeaSNOM近場光學顯微鏡的出現(xiàn)為此難題提供了一個很好的解決方案。德國n......
--30nm光學信號空間分辨率太赫茲（THz）光源波長較大，一般在300微米左右。由于衍射極限的存在，THz遠場測量系統(tǒng)的光學空間分辨率一般被限制在150微米左右。該THz光遠場測量結果的準確度經(jīng)常無法滿足對材料科學研究，尤其是需要納米分辨率的微細尺度材料分布研究（例如半導體芯片中各個組成：源極，漏極，柵極）的實驗。THz-NeaSNOM近場光學顯微鏡的出現(xiàn)為此難題提供了一個很好的解決方案。德國neaspec公司與Fraunhofer IPM在neaspec公司neaSNOM近場光學顯微鏡的基礎上，已經(jīng)成功研發(fā)了一套易用使用且THz系統(tǒng)的空間分辨率達到30nm的實驗設備。
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