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等離子清洗機(jī) YSP600U/2KU

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等離子清洗機(jī) YSP600U/2KU

詳細(xì)介紹

樣品傳輸系統(tǒng)為模塊式，便于組合
用途
● 提高各種材料的粘接性、表面改質(zhì)處理
● 清洗各類(lèi)基板。
● 電子部品、材料表面改質(zhì)。
● 去除有機(jī)物和自然氧化膜。

特點(diǎn)
● 體積小，節(jié)省空間。
● 選用小型腔體，反應(yīng)效率高。
● 更容易嵌入生產(chǎn)線使用。
● 可通過(guò)操作面板自由切換等離子模式。
● 配備冷卻反應(yīng)臺(tái)。

內(nèi)槽

技術(shù)規(guī)格

型號(hào)	YSP600U	YSP2KU
模式	RIE（DP模式選購(gòu)）
高頻輸功率	600W	2000W
反應(yīng)臺(tái)尺寸	W300×D300mm	W600×D600mm
反應(yīng)氣體	2進(jìn)氣系統(tǒng)（氧氣、氬氣）
反應(yīng)氣體流量控制	質(zhì)量流量控制器
氣體導(dǎo)入口	反應(yīng)氣體2個(gè)、填充氣體1個(gè)、空氣1個(gè)