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iNano高精度臺式納米壓痕儀

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更新時間：2022-10-12 15:40:00瀏覽次數(shù)：256次

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產(chǎn)品簡介

iNano高精度臺式納米壓痕儀

詳細介紹

KLA公司全系列的力學(xué)測試產(chǎn)品均采用電磁驅(qū)動原理的加載力激發(fā)器， iNano高精度臺式納米壓痕儀。對納米壓痕物理模型和線性特性的電磁力驅(qū)動原理的深刻理解，以及高靈敏度的三片式電容傳感器的設(shè)計，保證全系列納米力學(xué)產(chǎn)品在整個量程范圍內(nèi)均能得到高精準、高分辨的控制。50mN載荷范圍，3nN加載精度，0.002nm位移精度。

? 快速精準的動態(tài)納米壓痕測試

? 電磁加載方式

? 快速精準的位移測量

? 超高框架剛度

? 熱漂移 <0.05nm/s

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