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          行業(yè)產(chǎn)品
          
							
						
          
						
            
							
          • 行業(yè)產(chǎn)品
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          上海納騰儀器有限公司
                                
                
                
          

							
          
                        			
          
		
          
	
          
	
	
          
		
          
            
          
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          iNano高精度臺式納米壓痕儀
          
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          產(chǎn)品型號iNano
          
							
          品       牌
          
		                    
          廠商性質(zhì)其他
          
		                    							
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								更新時間：2022-10-12 15:40:00瀏覽次數(shù)：256次
							
          
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                    產(chǎn)品簡介
                
          
				
          
                      
          
                                                                      
          
					
          iNano高精度臺式納米壓痕儀
          
				
          
				
          
                    詳細介紹
                
          
			    
          
			        
          
			            
          KLA公司全系列的力學(xué)測試產(chǎn)品均采用電磁驅(qū)動原理的加載力激發(fā)器， iNano高精度臺式納米壓痕儀。對納米壓痕物理模型和線性特性的電磁力驅(qū)動原理的深刻理解，以及高靈敏度的三片式電容傳感器的設(shè)計，保證全系列納米力學(xué)產(chǎn)品在整個量程范圍內(nèi)均能得到高精準、高分辨的控制。50mN載荷范圍，3nN加載精度，0.002nm位移精度。
          ? 快速精準的動態(tài)納米壓痕測試 
          ? 電磁加載方式
          ? 快速精準的位移測量
          ? 超高框架剛度
          ? 熱漂移 <0.05nm/s

          
			        
          
			    
          
                                                				
          
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