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          行業(yè)產(chǎn)品

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          上海納騰儀器有限公司


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          iMicro高精度微納米壓痕儀

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          品       牌

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          更新時(shí)間:2022-10-12 15:38:41瀏覽次數(shù):227次

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          產(chǎn)品簡(jiǎn)介

          iMicro高精度微納米壓痕儀

          詳細(xì)介紹

          KLA公司全系列的力學(xué)測(cè)試產(chǎn)品均采用電磁驅(qū)動(dòng)原理的加載力激發(fā)器, iMicro高精度微納米壓痕儀。對(duì)納米壓痕物理模型和線(xiàn)性特性的電磁力驅(qū)動(dòng)原理的深刻理解,以及高靈敏度的三片式電容傳感器的設(shè)計(jì),保證全系列納米力學(xué)產(chǎn)品在整個(gè)量程范圍內(nèi)均能得到高精準(zhǔn)、高分辨的控制。1000mN載荷范圍,6nN加載精度,0.04nm位移精度。

          ? 快速精準(zhǔn)的動(dòng)態(tài)納米壓痕測(cè)試

          ? 電磁加載方式

          ? 快速精準(zhǔn)的位移測(cè)量

          ? 超高框架剛度

          ? 熱漂移 <0.05nm/s



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