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          青島佳鼎分析儀器有限公司
                                
                
                
          

							
          
                        			
          
		
          
	
          
	
	
          
		
          
            
          
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          超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列
          
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								更新時(shí)間：2022-11-17 11:40:20瀏覽次數(shù)：366次
							
          
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          現(xiàn)有機(jī)型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100
          
				
          
				
          
                    詳細(xì)介紹
                
          
			    
          
			        
          
			                                  
           現(xiàn)有機(jī)型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。  
           
           "Regulus系列"繼承了現(xiàn)有機(jī)型的觀察和分析性能，配備SU8200系列的低噪音冷場(chǎng)發(fā)射電子槍，可以獲得高穩(wěn)定的束流。  
           
           通過(guò)優(yōu)化電子光學(xué)系統(tǒng)，Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.7 nm，Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。  
           
           此外，為充分發(fā)揮超高分辨的能力，放大倍率也從過(guò)去的100萬(wàn)倍提升到200萬(wàn)倍。  
           
           Regulus8240/8230/8220/8100還完善了用戶支持功能，通過(guò)此功能用戶更容易理解各種復(fù)雜信號(hào)的檢測(cè)原理，幫助用戶充分發(fā)揮儀器的性能。  
           
           設(shè)備特點(diǎn)  
           
           沿用"SU8200系列"的冷場(chǎng)發(fā)射電子槍  
           
           采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間，使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的性能  
           
           (Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)  
           
           采用污染小、高真空樣品倉(cāng)  
           
           運(yùn)用能量過(guò)濾器(選配)，可觀察到多種成分對(duì)比度  
           
           設(shè)備規(guī)格  
           
           
            
            項(xiàng)目    Regulus 8100    Regulus 8220    Regulus 8230    Regulus 8240   
           
            二次電子分辨率    0.7 nm
           （加速電壓15 kV）
           0.8 nm
           （著陸電壓1 kV）*3            		  0.6 nm（加速電壓 15 kV）
           0.7 nm（著陸電壓 1 kV）*3            		 
           
            著陸電壓    0.1～2 kV    0.01～20 kV   
           
            放大倍率    20～1,000,000倍*4    20～2,000,000倍*4   
           
            樣品臺(tái)    樣品臺(tái)控制    3軸馬達(dá)臺(tái)（可選5軸馬達(dá)臺(tái)）    5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)   
           
            移動(dòng)范圍    X    0～50 mm    0～50 mm    0～110 mm    0～110 mm   
           
            Y    0～50 mm    0～50 mm    0～110 mm    0～80 mm   
           
            R    360°   
           
            T    -5～70°   
           
            Z    1.5～30 mm    1.5～40 mm   
           
            再現(xiàn)性    -    -    -    ±0.5 µm以下含±0.5 µm   
                      
           
                            
			        
          
			    
          
                                                				
          
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