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          行業(yè)產(chǎn)品

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          深圳市藍星宇電子科技有限公司


          當前位置:深圳市藍星宇電子科技有限公司>>等離子清洗機 / 去膠機>>IoN 100 WB德國 PVA TePla 等離子清洗機

          IoN 100 WB德國 PVA TePla 等離子清洗機

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          參  考  價面議
          具體成交價以合同協(xié)議為準

          產(chǎn)品型號

          品       牌

          廠商性質(zhì)其他

          所  在  地

          聯(lián)系方式:廖總查看聯(lián)系方式

          更新時間:2023-05-22 11:56:11瀏覽次數(shù):252次

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          產(chǎn)品簡介

          德國 PVA TePla 等離子清洗機 IoN 100 WB , 是推出的具有高性價比的真空等離子清洗設(shè)備,可以迅速快捷的更換不同類型的電極結(jié)構(gòu)。

          詳細介紹

          德國 PVA TePla 等離子清洗機
          型號:IoN 100 WB等離子清洗機

          IoN 100 WB是我們推出的具有高性價比的真空等離子清洗設(shè)備。它來源于IoN 100系列,IoN 100 WB延續(xù)了同樣的高品質(zhì)保障,包括可選壓力控制器、光譜終點檢測器以及各種不同的電極組構(gòu)造。

          IoN 100 WB旨在滿足客戶大批量生產(chǎn)的需求,著重于表面處理的多功能性和可控性。其*的性能提供了出色的工藝控制、失效報警系統(tǒng)和數(shù)據(jù)采集軟件。這使得該設(shè)備可滿足半導(dǎo)體、生命科學等領(lǐng)域嚴格的控制要求。IoN 100 WB結(jié)構(gòu)緊湊,集成度高,采用射頻(RF)頻率激發(fā)等離子體。

          IoN 100 WB的另一個之處是可以迅速快捷的更換不同類型的電極結(jié)構(gòu)。

          *的功能特性:


          ● 觸摸屏操作,圖形用戶界面(GUI)

          ● 可配置的腔室可使用不同類型電極,適用于大批量處理或特殊的垂直懸掛處理

          ● 使用Windows系統(tǒng)的工業(yè)計算機控制

          ● 工藝員、操作元、維護員訪問權(quán)限控制

          ● 自診斷功能和警報記錄功能,聯(lián)網(wǎng)在線診斷功能

          ● 以太網(wǎng)遠程控制功能

          ● 工藝編輯軟件提供了快速靈活的步驟控制功能

          ● 安裝簡單快捷

          規(guī)格參數(shù)


          工作腔室材料 :鋁(標配)
          容積:107 升
          內(nèi)部尺寸 :375 x 375 x 762 mm(寬/高/深)


          工藝氣體


          質(zhì)量流量控制計:最多至6路氣體
          工藝壓力 :200-2000 mTorr(取決于真空泵和氣體流量)
          抽真空時間 :
          大約1分鐘 (取決于真空泵)


          射頻電源 :風冷13.56MHz,600 瓦(標準配置)
          供給需求電源:220V 單相, 50Hz
          工藝氣體 : 輸入壓力 1-2 bar
          吹掃氣體 :輸入壓力 1-2 bar
          壓縮空氣 : 輸入壓力 4-6 bar

          機體

          ● 獨立的機體帶有所有電源和氣體接口
          ● 帶有旋轉(zhuǎn)墊腳的可轉(zhuǎn)動機身

          設(shè)備尺寸


          標準尺寸 :1067 x 737 x 1245 mm(寬/高/深,不含泵)
          重量 : 約239千克(不含泵)


          可選項


          ● 不銹鋼腔體

          ● 壓力控制器
          ● 1%精度的真空規(guī)
          ● 指示燈柱
          ● 條形碼閱讀器
          ● 工藝氣體切換器
          ● 光譜終點檢測器

          ● 耐腐蝕性氣體的MFC
          ● 1000 瓦13.56 MHz射頻發(fā)生器
          ● 水冷機
          ● 液態(tài)單體操作裝置
          ● 真空泵(油泵、干泵或羅茨泵組)
          ● 汽相MFC


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