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更新時(shí)間：2022-10-23 12:27:14瀏覽次數(shù)：144次
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JSM-7610FPlus，用于納米科學(xué)的肖特基場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡， 是一款采用半浸沒式物鏡、擁有超高分辨率的場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡，能觀察微細(xì)結(jié)構(gòu)和進(jìn)行微區(qū)元素分析。
JSM-7610FPlus，用于納米科學(xué)的肖特基場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡， 是一款采用半浸沒式物鏡、擁有超高分辨率的場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡，能觀察微細(xì)結(jié)構(gòu)和進(jìn)行微區(qū)元素分析。
技術(shù)指標(biāo)：
特點(diǎn)
半浸沒式物鏡
超高空間分辨率（1 kV 1.0 nm、15 kV 0.8 nm）
利用新一代r-過濾器選擇能量
自由選擇二次電子和背散射電子
利用LABE 檢測(cè)器獲取低角度背散射電子像
選擇通道襯度和來自樣品表面的信息
浸沒式肖特基電子槍
提供分析時(shí)需要的大電流(200 nA 15 kV),壽命長(zhǎng)(發(fā)射體保證3 年)
豐富的附件
可以安裝EDS、WDS、STEM、CL 等多種附件
半浸沒式物鏡的示意圖
半浸沒式物鏡在樣品周圍形成強(qiáng)磁場(chǎng)，因而可以獲得超高分辨率。
超高分辨率觀察實(shí)例
柔和電子束（GB:GENTLEBEAMTM）模式
柔和電子束模式（GB 模式）通過給樣品施加負(fù)電壓，從而使電子束在即將撞擊樣品之前降低著陸電壓，因此可以在低加速電壓下（ 100 V）進(jìn)行高分辨觀察。
由于電子束在樣品中散射區(qū)域減小，就會(huì)容易地觀察樣品淺表面的精細(xì)結(jié)構(gòu)，能減少對(duì)熱敏樣品的損傷，可以直接觀察非導(dǎo)電性樣品。
JSM-7610FPlus 在 GB 模式下（1 kV）的分辨率為 1.0 nm。
GB 模式的效果
GB 模式在低電壓下提高分辨率
增強(qiáng)了的低加速電壓下的分辨率
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