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電子探針X射線顯微分析

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北京中科光析化工技術(shù)研究所

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產(chǎn)品簡介

電子探針X射線顯微分析儀儀器名稱：電子探針X射線顯微分析儀型號(hào)：EPMA-1600生產(chǎn)廠家：日本島津公司儀器簡介：日本島津公司的EPMA－1600型電子探針，由四道譜儀、八塊分光晶體組成

詳細(xì)介紹

電子探針X射線顯微分析儀

儀器名稱：電子探針X射線顯微分析儀

型號(hào)：EPMA-1600

生產(chǎn)廠家：日本島津公司

儀器簡介：日本島津公司的EPMA－1600型電子探針，由四道譜儀、八塊分光晶體組成。此儀器不僅有較高的X射線檢出角，同時(shí)由于使用全聚焦的X射線分光晶體，能兼顧X射線檢測的高靈敏度和高分辨率，并配有高穩(wěn)定的電子光學(xué)系統(tǒng)，真空系統(tǒng)及高精度機(jī)械系統(tǒng)以及牛津X-射線電制冷能譜儀，是目前的微區(qū)成分定量分析和形貌觀察的大型科研儀器之一。

儀器主要特點(diǎn)及技術(shù)指標(biāo)：

l 分析元素范圍： 4Be～94Pu

l 電子束流穩(wěn)定性：好于1.5×10^-3/H

l 二次電子像分辨率：6nm

l 加速電壓：0~30kV

l X射線檢出角：52.5°

l 放大倍數(shù)：50×～300,000×

l 分析速度：自動(dòng)全元素定性分析時(shí)間≤60s

l 樣品尺寸：100mm´100mm´50mm

l 樣品臺(tái)最小移動(dòng)間距為0.01微米，機(jī)械系統(tǒng)精密度高

l 可觀察二次電子像（SEI)，背散射電子像(BEI)，吸收電子像，光學(xué)顯微像，X射線面分布像等。兼顧微區(qū)成分定量分析和形貌觀察

儀器主要功能及其用途：

l 非破壞分析（分析時(shí)，被分析樣品不會(huì)損壞，可以實(shí)現(xiàn)同點(diǎn)重復(fù)分析）

l 微米尺度的空間分辨分析

l 輕元素的定量分析

l 元素的面分布分析

l 痕量元素的成分分析

l 精細(xì)結(jié)構(gòu)分析

l 適用于材料(陶瓷，合金，半導(dǎo)體材料等）以及礦物、巖石等固體材料的微區(qū)化學(xué)組成定性和定量分析，微區(qū)化學(xué)組成線分析，微區(qū)化學(xué)組成面分析以及材料、礦物和巖石等的微區(qū)形貌觀察、成分分布圖像等，是對試樣微區(qū)組織結(jié)構(gòu)，表面形貌觀察及元素定量分析的手段。

關(guān)鍵詞：電子探針分析儀

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