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          行業(yè)產(chǎn)品

          • 行業(yè)產(chǎn)品

          深圳市科晶智達(dá)科技有限公司


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          PDC-36G 等離子清洗機(jī)

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          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

          產(chǎn)品型號(hào)

          品       牌

          廠商性質(zhì)其他

          所  在  地

          聯(lián)系方式:廖勝眉查看聯(lián)系方式

          更新時(shí)間:2023-02-28 13:41:53瀏覽次數(shù):195次

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          產(chǎn)品簡(jiǎn)介

          簡(jiǎn)要描述:PDC-36G 等離子清洗機(jī)是一種緊湊型、低成本的等離子清洗機(jī)。使用空氣、氧氣、氬氣等離子去除納米級(jí)有機(jī)物污染。在射頻電源的作用下,去除速率大每分鐘10納米。在單晶材料外延薄膜生長(zhǎng)以前進(jìn)行預(yù)處理,對(duì)生長(zhǎng)具有顯著的作用 。

          詳細(xì)介紹

          功能特點(diǎn)
          • 結(jié)構(gòu)緊湊、小型化的桌上型儀器;
          • 用各種氣體清洗和去除晶片上納米級(jí)有機(jī)污染物;
          • 在制膜實(shí)驗(yàn)之前預(yù)先清潔鍍膜基底的優(yōu)秀工具。清洗后鍍膜的質(zhì)量可以更好;
          • 鉸鏈?zhǔn)介T,方便裝樣;
          • 石英腔的直徑是3英寸,在里面可以放入一個(gè)石英舟,大清洗一個(gè)2英寸的基片;
          • 清洗腔里面的石英管可以拆卸,方便清洗和更換;
          • 使用可調(diào)射頻電源,可以設(shè)置功率為低、中、高級(jí)別;低成本、操作安全;
          技術(shù)參數(shù)
          主要參數(shù)

          ● 低功率設(shè)定:直流680V,10mA,6.8W

          ● 中功率設(shè)定:直流700V,15mA,10.5W

          ● 高功率設(shè)定:直流720V,25mA,18W

          ● 射頻源輸出頻率:13.56MHz

          ● 等離子直流電源

          ● 輸入電壓:220V,50Hz

          等離子腔室

          ● 直徑75mmx長(zhǎng)200mm的石英墻體,前蓋可以開啟

          ● 高純度石英腔體,使用壽命比玻璃長(zhǎng)

          真空計(jì)

          ● 設(shè)備標(biāo)配一個(gè)數(shù)顯電阻真空機(jī)用于實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)清洗倉(cāng)內(nèi)的真空度。

          可選配件

          ● 您可以訂購(gòu)額外的石英腔體,用于備用

          ● 如果需要一個(gè)通入兩種氣體的工藝解決方案,PDC-36G等離子清洗機(jī)可以與2路混氣系統(tǒng)組合(點(diǎn)擊下面圖片了解詳情)

          ● 您可以訂購(gòu)石英晶片載體來(lái)清潔2英寸晶片

          真空泵和閥

          ● 此設(shè)備不包含真空泵

          ● 您可以點(diǎn)擊下方圖片了解真空泵信息

          工作氣體

          ● 多種氣體可以用于等離子清洗,例如氮?dú)?、氬氣、空氣、混合氣體,主要取決于處理何種材料。

          ● 可以使用<4%的H2混合惰性氣體

          ● 警示:不能使用可燃性及腐蝕性氣體

          等離子清洗及刻蝕的方法

          外形尺寸

          353mm(L)x380mm(W)x225mm (H)

          凈重

          8kg(不含泵)

          認(rèn)證

          CE認(rèn)證

          質(zhì)保期

          ● 一年保修,終身技術(shù)支持。

          ● 特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

          2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

          ● 點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。

          工作原理

          等離子清洗機(jī)工作原理



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