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深圳市科晶智達(dá)科技有限公司
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產(chǎn)品型號(hào)
品 牌
廠商性質(zhì)其他
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更新時(shí)間：2023-02-28 13:41:53瀏覽次數(shù)：195次
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簡(jiǎn)要描述：PDC-36G 等離子清洗機(jī)是一種緊湊型、低成本的等離子清洗機(jī)。使用空氣、氧氣、氬氣等離子去除納米級(jí)有機(jī)物污染。在射頻電源的作用下，去除速率大每分鐘10納米。在單晶材料外延薄膜生長(zhǎng)以前進(jìn)行預(yù)處理，對(duì)生長(zhǎng)具有顯著的作用 。
| 功能特點(diǎn) |
|---|
| 技術(shù)參數(shù) | |
|---|---|
| 主要參數(shù) |
● 低功率設(shè)定：直流680V，10mA,6.8W ● 中功率設(shè)定：直流700V，15mA,10.5W ● 高功率設(shè)定：直流720V，25mA,18W ● 射頻源輸出頻率：13.56MHz ● 等離子直流電源 ● 輸入電壓：220V,50Hz
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| 等離子腔室 |
● 直徑75mmx長(zhǎng)200mm的石英墻體，前蓋可以開啟 ● 高純度石英腔體，使用壽命比玻璃長(zhǎng)
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| 真空計(jì) | ● 設(shè)備標(biāo)配一個(gè)數(shù)顯電阻真空機(jī)用于實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)清洗倉(cāng)內(nèi)的真空度。
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| 可選配件 |
● 您可以訂購(gòu)額外的石英腔體，用于備用 ● 如果需要一個(gè)通入兩種氣體的工藝解決方案，PDC-36G等離子清洗機(jī)可以與2路混氣系統(tǒng)組合（點(diǎn)擊下面圖片了解詳情） ● 您可以訂購(gòu)石英晶片載體來(lái)清潔2英寸晶片 ●
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| 真空泵和閥 |
● 此設(shè)備不包含真空泵 ● 您可以點(diǎn)擊下方圖片了解真空泵信息 ●
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| 工作氣體 |
● 多種氣體可以用于等離子清洗，例如氮?dú)?、氬氣、空氣、混合氣體，主要取決于處理何種材料。 ● 可以使用<4％的H2混合惰性氣體 ● 警示：不能使用可燃性及腐蝕性氣體
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等離子清洗及刻蝕的方法 |
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| 外形尺寸 |
353mm（L）x380mm（W）x225mm （H）
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| 凈重 |
8kg（不含泵）
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| 認(rèn)證 |
CE認(rèn)證
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| 質(zhì)保期 |
● 一年保修，終身技術(shù)支持。 ● 特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 ● 點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。
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| 工作原理 |
等離子清洗機(jī)工作原理 |
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