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深圳市科晶智達(dá)科技有限公司
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| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)
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更新時(shí)間：2022-10-14 13:17:10瀏覽次數(shù)：234次
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GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子濺射儀，可進(jìn)行金、鉑、銦、銀等多種金屬的濺射鍍膜，樣品直徑可達(dá)50mm，鍍膜厚度可達(dá)300?，特別適用于SEM樣品的鍍膜
| 功能特點(diǎn) |
|---|
| 技術(shù)參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 | ||
| 水 | 不需要 | ||
| 電 | AC220V 50Hz，必須有良好接地 | ||
| 氣 | 設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥） | ||
| 工作臺(tái) | 尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上 | ||
| 通風(fēng)裝置 | 不需要 | ||
| 電源 | 220V | ||
| 總功率 | <2000W（包括真空泵） | ||
| 真空室 | ?160mm×120mm | ||
| 樣品臺(tái) | ?50mm，且高度可調(diào)，可同時(shí)進(jìn)行8個(gè)SEM樣品的鍍膜 | ||
| 均勻鍍膜 | ?45mm | ||
| 尺寸 | 400mm×300mm×400mm | ||
| 重量 | 30kg | ||
| 可選配件 | 金、銦、銀、鉑等各種靶材 | ||
| 標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1 | 金靶材 | 1個(gè) |
| 2 | 進(jìn)氣針閥 | 1個(gè) | |
| 3 | 保險(xiǎn)絲 | 2個(gè) | |
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