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          俄歇電子能譜及低能電子衍射分析系統(tǒng)
          
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          經(jīng)營(yíng)模式：其他
          
						
          商鋪產(chǎn)品：126條
          
						
          所在地區(qū)：江蘇蘇州市
          
						
          聯(lián)系人：高先生
          												
					
          
				
          
			
          			
          
                                
          
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          詳細(xì)介紹俄歇電子能譜及低能電子衍射分析系統(tǒng)俄歇電子能譜及低能電子衍射分析系統(tǒng)，又稱(chēng)俄歇電子能譜AES及低能電子衍射LEED樣品表面深度分析系統(tǒng)
          
				
          
				
          
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          俄歇電子能譜及低能電子衍射分析系統(tǒng)



          俄歇電子能譜及低能電子衍射分析系統(tǒng)，又稱(chēng)俄歇電子能譜AES及低能電子衍射LEED樣品表面深度分析系統(tǒng)。基于俄歇電子能譜AES、低能電子衍射LEED、及氬離子濺射深度分布的分析系統(tǒng)，完成對(duì)薄膜及合金的元素組成和深度分布的分析。





          非接觸式測(cè)量薄膜及合金元素組成。
          帶樣品預(yù)抽真空室 （load-lock腔室）。

          特性：
          -對(duì)原子結(jié)構(gòu)，元素組成和厚度分析達(dá)到“亞納米級(jí)”精度
          -大范圍樣品分析
          -半自動(dòng)化操作


          系統(tǒng)特性
          俄歇電子能譜AES分析器
          分析器型號(hào)-延遲型區(qū)域分析器，自帶同軸電子槍
          能量分辨率：<5%
          工作距離 10mm
          檢測(cè)器: 1e7至1e8增幅范圍的電子倍增器通道
          安裝法蘭-4.5英寸O.D.標(biāo)準(zhǔn)CF法蘭（NW63CF)

          電子槍?zhuān)?/span>
          型號(hào) ：帶可調(diào)焦距和束斑直徑的雙靜電透鏡
          束流電壓：0-3KV
          束流電流：50uA
          束流直徑：800um
          燈絲：鎢燈絲
          磁罩：帶前置保護(hù)殼的Mu罩

          深度離子濺射槍
          離子源  在磁場(chǎng)內(nèi)電子沖擊形成離子
          離子化陰極  鎢-錸燈絲
          直接安裝于70mmO.D.CF法蘭
          束流電流：10 uA
          束流能量：0-3keV
          束流尺寸;直徑范圍5至25mm
          束流均勻度：<5%
          氣體輸入：經(jīng)過(guò)泄漏閥氣體直接輸入至離子源
          安裝法蘭：23/4英寸（70mm）O.D.CF法蘭

          樣品傳遞操作
          樣品尺寸：尺寸從10mm-20mm
          樣品置入：?jiǎn)蝹€(gè)樣品置入
          樣品傳輸：線型磁動(dòng)樣品傳輸臂

          真空系統(tǒng)
          腔體：100mm焊接超高真空腔體（304不銹鋼）
          真空泵：60L/sec離子泵和50l/sec的分子泵，配備匹配的前級(jí)泵
          真空規(guī)：寬量程真空規(guī)

          真空兼容：超高真空材料
          烘烤：真空下可烘烤至250度










              
			        
          
			    
          
                                                				
          
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