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          行業(yè)產(chǎn)品
          
							
						
          
						
            
							
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          北京英格海德分析技術(shù)有限公司
                                
                
                
          

							
          
                        			
          
		
          
	
          
	
	
          
		
          
            
          
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          過程氣體分析質(zhì)譜儀
          
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								更新時間：2022-10-16 10:11:52瀏覽次數(shù)：164次
							
          
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                    產(chǎn)品簡介
                
          
				
          
                      
          
                                                                      
          
					
          The HPR-30 is a residual gas analyser configured for analysis of gases and vapours in vacuum processes and for vacuum diagnostics.
          
				
          
				
          
                    詳細介紹
                
          
			    
          
			        
          
			                        
           HPR-30真空過程氣體分析系統(tǒng)(Process Gas Analyser)，適用于監(jiān)測分析殘余氣體和真空工藝過程中的氣體組成及變化。 
                 
            
           ·簡潔的桌上型，移動推車或控制臺架結(jié)構(gòu) 
                     ·Direct re-entrant流孔板，差式泵，以達到宜的靈敏度 
                     ·軟離子化技術(shù)，分析復(fù)雜有機物，或表觀MS研究 
                     ·MASsoft軟件控制，或由局域網(wǎng)進行多個系統(tǒng)控制 
                     ·氣動閥自動控制；出現(xiàn)電力不足或壓力過大等不安全狀況時可啟用手動隔離裝置 
                     ·自動、同時數(shù)據(jù)取得、分析，實時顯示、報警  
                 
            
           ·質(zhì)量數(shù)范圍：   1～200 amu(標(biāo)準(zhǔn)配置); 300、510、1000amu可選  
           
           ·高靈敏度：     5ppb  
           
           ·取樣壓力：     10-4mbar～1mbar 標(biāo)準(zhǔn)配置  
           
                                  1mbar～30bar 選配  
           
           ·穩(wěn)定性好：     24h以上，小于峰高的±0.5%  
           
           ·過程控制開關(guān)  
           
           ·信號輸入、輸出接口  
           
            
                 
          Hiden HPR-30 Series Process Gas Analysers (1.2 MB)  
           Mass Spectrometers for Thin Films, Plasma and Surface Engineering (1.1 MB)  
           
           AP0002 - Surface Characteristics of Parylene-C Films in an Inductively Coupled O2/CF4 Gas Plasma (211 KB)  
           
           Partial Pressure Control in Reactive Sputtering (343 KB)  
           
           HPR-30 Monitoring TiN Depsoition (113 KB)  
           HPR-30 Vacuum Process Gas Analyser (1.4 MB)
                   
			        
          
			    
          
                			    
          關(guān)鍵詞：氣體分析  過程控制
          
                                                				
          
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