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          行業(yè)產(chǎn)品
          
							
						
          
						
            
							
          • 行業(yè)產(chǎn)品
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          沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司
                                
                
                
          

							
          
                        			
          
		
          
	
          
	
	
          
		
          
            
          
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          混氣系統(tǒng)2路質(zhì)子GSL-2Z
          
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          產(chǎn)品型號
          
							
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          所  在  地沈陽市
          
						
          
                        
                    
          
					 							        										
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								更新時間：2023-03-02 09:06:40瀏覽次數(shù)：221次
							
          
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          經(jīng)營模式：其他
          
						
          商鋪產(chǎn)品：912條
          
						
          所在地區(qū)：遼寧沈陽市
          
						
          聯(lián)系人：經(jīng)理
          												
					
          
				
          
			
          			
          
                                
          
                    產(chǎn)品簡介
                
          
				
          
                      
          
                                                                      
          
					
          混氣系統(tǒng)2路質(zhì)子GSL-2Z
          
				
          
				
          
                    詳細介紹
                
          
			    
          
			        
          
			             
           產(chǎn)品簡介：混氣系統(tǒng)2路質(zhì)子GSL-2Z是用于控制一種或兩種的氣體流經(jīng)真空密封的管式爐，這種氣體控制系統(tǒng)安裝在移動架內(nèi)，管式爐可以放在移動架上面，氣體控制系統(tǒng)的前面板上有控制并顯示氣體流量的調(diào)節(jié)閥，可以用于CVD系統(tǒng)及退火爐，用來研究氣體環(huán)境對材料的影響，在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用，廣泛應(yīng)用于電子工藝設(shè)備，如擴散、氧化、外延、CVD、等離子濺射以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、混氣配氣系統(tǒng)及其它分析儀器。
           
            
           
            
           
            
            
           產(chǎn)品型號
                     		  
           混氣系統(tǒng)2路質(zhì)子GSL-2Z
                     		 
           
            
           主要特點
                     		  
           精度高，運行穩(wěn)定可靠，工作壓力范圍寬，可在高壓或真空條件下工作，且操作使用方便。
                     		 
           
            
           技術(shù)參數(shù)
                     		  
           1、電源：185-245V  50Hz
           
           2、輸出功率：18W
           
           3、控制范圍：控制器1——1-199SCCM、控制器2——1-499SCCM
           
           4、壓力：3×106  Pa
           
           5、準(zhǔn)確度：±1%FS
           
           6、線性：±0.5-1.5%
           
           7、重復(fù)精度：±0.2%FS
           
           8、響應(yīng)時間：氣特性1-4s，電特性10s針閥：316不銹鋼
           
           9、工作壓差范圍：0.1-0.5 MPa
           
           10、壓力表測量范圍：-0.1-0.15MPa（0.01 MPa/grid）
           
           11、混氣罐：Ø80mm×120mm
           
           12、截止閥：Ø1/4″，316不銹鋼針閥
           
           13、工作溫度：5-45℃
                     		 
           
            
           產(chǎn)品規(guī)格
                     		  
           尺寸：600mm×600mm×650mm
                     		 
                      
           
           
			        
          
			    
          
                			    
                                                				
			
          
			
          
		
          
	
          
	
    
          
		
          
			
          
				
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