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特點(diǎn)：
測(cè)量型金相顯微鏡是一種兼顧影像、目視與納米高度測(cè)量多用的高精度、高效率測(cè)量?jī)x器。該產(chǎn)品具有電視成像與目視光學(xué)兩套瞄準(zhǔn)系統(tǒng)，可人工觀察金屬表面的金相組織結(jié)構(gòu)，是集光、機(jī)、電、算、影像于一體的顯微鏡。該產(chǎn)品以二維測(cè)量為主，也可作三維輔助測(cè)量，廣泛應(yīng)用于電子組件、精密模具、塑料、PCB加工方面、鍍膜厚度、手機(jī)玻璃等工業(yè)領(lǐng)域。
特點(diǎn)：
1. Z軸光柵尺分辨力為0.1μm
2. X、Y軸采用空氣軸承、花崗石導(dǎo)向，保證了機(jī)械系統(tǒng)的精確穩(wěn)定，提高了測(cè)量精度
3. X、Y、Z三軸伺服控制，定位精度高、速度快，運(yùn)行平穩(wěn)
4. 同軸光/底光測(cè)量
5. 內(nèi)置偏光測(cè)量光學(xué)模塊
6. 自主開發(fā)QMS3D-M軟件，高清晰進(jìn)口1/2"彩色攝像機(jī)
7. 可通過激光指示器尋找被測(cè)工件的具體位置，可適應(yīng)復(fù)雜工件的測(cè)量
8. 可實(shí)現(xiàn)Z軸自動(dòng)對(duì)焦
9. 具有偏光和DIC檢測(cè)功能
10. 可搭配白光納米檢測(cè)模塊測(cè)量納米級(jí)厚度
技術(shù)規(guī)格參數(shù)：
型號(hào) | MTM-6065H | MTM-6090H | |
工作臺(tái) | 玻璃臺(tái)尺寸(mm) | 1070 x 640 | 1070 x 640 |
X、Y軸運(yùn)動(dòng)行程(mm) | 600 x 650 | 600 x 900 | |
Z軸行程(mm) | 200 | ||
外形尺寸(mm) | 1800 x 1350 x 1450 | ||
儀器重量(kg) | 1300 | 1500 | |
X、Y軸光柵尺分辨力(μm) | 0.5 | ||
Z軸光柵尺分辨力(μm) | 0.1 | ||
示值誤差(μm) | E1XY=( 2.5+ L/200) μm (L為測(cè)量長(zhǎng)度，單位mm) | ||
物鏡放大倍數(shù)誤差 | 包括畸變?cè)趦?nèi)的放大率誤差≦0.08% | ||
落射照明光源 | 可調(diào)高亮度鹵素?zé)?/div> | ||
底光照明光源 | 可調(diào)高亮度LED燈源 | ||
目視系統(tǒng) | 影像系統(tǒng) | ||
物鏡放大倍數(shù) | 5X、10X、20X、50X(可選配100X) | 5X、10X、20X、50X；10X Mirau物鏡 | |
目鏡放大倍數(shù) | 10X雙鏡筒 | 1/2”CCD攝像機(jī) | |
視頻總倍率 | 50X ~500X | 142.5X ~1425X (19.5”顯示器，分辨率1440 x 900) | |
