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3d輪廓光學(xué)掃描儀

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產(chǎn)品型號(hào)SuperViewW1

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更新時(shí)間：2022-10-18 11:37:26瀏覽次數(shù)：390次

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閃測(cè)儀
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粗糙度輪廓儀

光學(xué)3D表面輪廓儀

輪廓測(cè)量?jī)x
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二次元影像測(cè)量?jī)x

全自動(dòng)影像測(cè)量?jī)x
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  三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x

三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)

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深圳市中圖儀器股份有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：100條

所在地區(qū)：廣東深圳市

聯(lián)系人：深圳市中圖（經(jīng)理）

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

SuperViewW13d輪廓光學(xué)掃描儀可對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

詳細(xì)介紹

中圖儀器SuperViewW13d輪廓光學(xué)掃描儀非接觸高精密測(cè)量方式，不會(huì)劃傷甚至破壞工件，且測(cè)量速度快，不必像探頭逐點(diǎn)進(jìn)行測(cè)量。它以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。測(cè)量各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

工作原理

照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從這兩個(gè)表面反射的兩束光再次通過(guò)分光鏡后合成一束光，并由成像系統(tǒng)在CCD相機(jī)感光面形成兩個(gè)疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機(jī)感光面會(huì)觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，所以根據(jù)白光干涉條紋明暗度就可以解析出被測(cè)樣品的相對(duì)高度。

SuperViewW1白光干涉儀,光學(xué)3D表面輪廓儀.jpg