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          行業(yè)產(chǎn)品

          • 行業(yè)產(chǎn)品

          深圳市中圖儀器股份有限公司


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          白光干涉表面輪廓儀

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          參   考   價: 960000

          訂  貨  量: ≥1 臺

          具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

          產(chǎn)品型號SuperViewW1

          品       牌

          廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

          所  在  地深圳市

          聯(lián)系方式:深圳市中圖查看聯(lián)系方式

          更新時間:2023-09-27 17:00:27瀏覽次數(shù):805次

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          經(jīng)營模式:生產(chǎn)廠家

          商鋪產(chǎn)品:100條

          所在地區(qū):廣東深圳市

          聯(lián)系人:深圳市中圖 (經(jīng)理)

          產(chǎn)品簡介

          W系列白光干涉表面輪廓儀采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統(tǒng),保證測量精度高。其隔振系統(tǒng)能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動,消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲,保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用,獲得高測量重復(fù)性。

          詳細(xì)介紹

          中圖儀器W系列白光干涉表面輪廓儀基于白光干涉技術(shù)原理,結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等,能對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量,可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。

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          產(chǎn)品功能

          (1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;

          (2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能;

          (3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能;

          (4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

          (5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

          (6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

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          W系列白光干涉表面輪廓儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點,測量單個精細(xì)器件的過程用時短,確保了高款率檢測。特殊光源模式可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。


          應(yīng)用領(lǐng)域

          對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

          應(yīng)用范例:

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          除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外,W系列光學(xué)3D表面輪廓儀具有的測量晶圓翹曲度功能,非常適合晶圓,太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量,應(yīng)變測量以及表面形貌測量。

          結(jié)果組成:

          1、三維表面結(jié)構(gòu):粗糙度,波紋度,表面結(jié)構(gòu),缺陷分析,晶粒分析等;

          2、二維圖像分析:距離,半徑,斜坡,格子圖,輪廓線等;

          3、表界面測量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面;

          4、薄膜和厚膜的臺階高度測量;

          5、劃痕形貌,摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量;

          6、微電子表面分析和MEMS表征。


          部分技術(shù)指標(biāo)

          型號W1
          光源
          白光LED
          影像系統(tǒng)1024×1024
          干涉物鏡

          標(biāo)配:10×

          選配:2.5×;5×;20×;50×;100×

          光學(xué)ZOOM

          標(biāo)配:0.5×

          選配:0.375×;0.75×;1×

          物鏡塔臺

          標(biāo)配:3孔手動

          選配:5孔電動


          XY位移平臺

          尺寸320×200㎜
          移動范圍140×100㎜
          負(fù)載10kg
          控制方式電動
          Z軸聚焦行程100㎜
          控制方式電動
          Z向掃描范圍10 ㎜
          主機尺寸(長×寬×高)700×606×920㎜

          如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。

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