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          河南成儀設(shè)備科技有限公司
                                
                
                
          

							
          
                        			
          
		
          
	
          
	
	
          
		
          
            
          
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          成儀PECVD系統(tǒng)
          
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								更新時間：2022-08-01 12:28:06瀏覽次數(shù)：282次
							
          
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          經(jīng)營模式：其他
          
						
          商鋪產(chǎn)品：70條
          
						
          所在地區(qū)：河南鄭州市
          
						
          聯(lián)系人：經(jīng)理
          												
					
          
				
          
			
          			
          
                                
          
                    產(chǎn)品簡介
                
          
				
          
                      
          
                                                                      
          
					
          型號：PE-12100C用途：使傳統(tǒng)的化學(xué)氣象沉積（CVD）反應(yīng)溫度降低，在普通CVD裝置的前端加入RF射頻感應(yīng)裝置將反應(yīng)氣體電離，形成等離子體，利用等離子體的活性來促進反應(yīng).
          
				
          
				
          
                    詳細介紹
                
          
			    
          
			        
          
			                                            
          　　PECVD系統(tǒng)就是為了使傳統(tǒng)的化學(xué)氣象沉積(CVD)反應(yīng)溫度降低，在普通CVD裝置的前端加入RF射頻感應(yīng)裝置將反應(yīng)氣體電離，形成等離子體，利用等離子體的活性來促進反應(yīng)，所以這個系統(tǒng)稱為增強型化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD)。
          　　該型號PECVD為成儀新款，綜合了國內(nèi)大多數(shù)廠家的管式PECVD系統(tǒng)的優(yōu)點，在PECVD前端加入了氣體預(yù)熱區(qū)，實驗證明此結(jié)構(gòu)沉積速度快，成膜質(zhì)量好，針孔較少，不易龜裂。而且控制部分采用了成儀自主研發(fā)的實驗電爐AIO全自動智能控制系統(tǒng)，使得操作更加簡便，功能更加強大。
          　　主要特點：
          　　1. 氣體預(yù)熱——增加前端氣體預(yù)熱區(qū)，沉積速度更快，成膜效果更好;
          　　2. AIO控制系統(tǒng)——加熱控制、等離子射頻控制、氣體流量控制、真空系統(tǒng)控制集中于一個7英寸觸摸屏進行統(tǒng)一集中調(diào)節(jié)和操控，協(xié)調(diào)控制——成儀AIO控制系統(tǒng);
          　　3. 管內(nèi)壓力自動平衡——管內(nèi)壓力實時監(jiān)測，自動平衡管內(nèi)壓力。
          　　4. 智能氣路通斷——每路氣體均可定時通斷，省時省力;
          　　5. 射頻功率和開關(guān)定時控制——預(yù)先設(shè)定好功率的大小和打開與關(guān)閉的時間，自動運行;
          　　6. 爐膛移動速度可調(diào)——根據(jù)實驗要求，用戶可設(shè)定爐膛左右移動的速度可距離;
          　　7. 整機結(jié)構(gòu)融為一體——移動方便，避免分散組裝的困擾。
          加熱爐部分
          爐膛模式開啟式爐膛
          顯示模式7英寸觸摸屏
          極限溫度1400℃
          工作溫度≤1350℃
          升溫速率建議10℃/Min   Max：30℃/Min
          加熱溫區(qū)3溫區(qū)
          單溫區(qū)長度150 mm
          爐管規(guī)格100*2000 mm
          控溫精度±1℃
          密封方式快速法蘭密封
          溫度曲線30段"時間—溫度曲線"任意可設(shè)
          預(yù)存曲線可預(yù)存15條溫度曲線
          超溫報警有
          過流保護有
          斷偶提示有
          測溫元件s型熱電偶
          爐膛材料氧化鋁纖維
          外形尺寸2600*860*1400MM
          射頻電源
          信號頻率13.56 MHz±0.005%
          功率輸出范圍5W-300W
          功率穩(wěn)定度±0.1%
          諧波分量≤-50dbc
          供電電壓單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ
          整機效率>=70%
          功率因素>=90%
          冷卻方式強制風(fēng)冷
          真空部分
          工作電電壓220V±10%  50~60HZ
          功率500W
          抽氣速率4Ls
          進氣口口徑KF25
          排氣口口徑KF25
          轉(zhuǎn)速1450rpm
          噪音55dB
          極限真空4X10-2Pa
          氣路系統(tǒng)
          1,2氣路采用DB07K系列
          3路采用高精度CS200系列
          整機系統(tǒng)特色
          正壓測量-100Kpa---100Kpa
          真空測量10-2Pa ～100Kpa（支持Ar測量）
          正壓保護支持
          壓力恒定支持
          智能氣路支持
          氣路定時支持
          射頻工作時間設(shè)定支持
          移動速度調(diào)節(jié)支持
          系統(tǒng)真空度4.8×10-3Pa
           
                                      
			        
          
			    
          
                			    
                                                				
			
          
			
          
		
          
	
          
	
    
          
		
          
			
          
				
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