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快速退火爐

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更新時間：2022-08-01 12:26:23瀏覽次數(shù)：385次

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河南成儀設備科技有限公司

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所在地區(qū)：河南鄭州市

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產(chǎn)品簡介

型號：RTP1100用途：快速退火與鍍膜規(guī)格：Φ100*200特點：快速升溫快速降溫

詳細介紹

　　快速熱處理退火爐簡稱 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace)，不但擁有很快的升溫速率100℃/S，而且降溫速率也有了質(zhì)的飛躍，降溫速率100℃/S。我們的工程師們巧妙地利用了冷壁工藝，以至于達到如此快的降溫速度。真正的快速升溫和快速降溫!

　　腔體采用了雙層石英管結構，外層管進氣，內(nèi)層管出氣，使得反應氣氛與加工樣品充分而均勻地接觸。

　　加熱燈管之所以能夠讓硅片快速升溫，是因為光源波長在0.3-4微米之間，石英管壁無法有效吸收這一波段的輻射，而晶片則正好相反。因此，晶片可以吸收輻射能量快速加熱，而此時石英管壁仍維持低溫，即所謂冷壁工藝。

　　應用領域：

　　Ø 快速熱退火 (RTA); 離子注入后退火

　　Ø 石墨烯等氣象沉積，碳納米管等外延生長

　　Ø 快速熱氧化 (,RTO); 熱氮化 (RTN);

　　Ø 硅化 (Silicidation);

　　Ø 擴散 (Diffusion);

　　Ø 離子注入后退火 (Implant Annealing);

　　Ø 電極合金化 (Contact Alloying);

　　Ø 晶向化和堅化 (Crystallization and Densification);

　　主要特點：

　　Ø 快速升溫100℃/S，快速降溫100℃/S;

　　Ø 雙層爐管結構，氣氛與樣品接觸更均勻;

　　Ø 直接測量樣品表面溫度，測溫更精準;

　　Ø 爐膛根據(jù)設置可自動左右移動，可以滿足更多的實驗應用;

　　Ø 真空度可達9.8×10-4Pa;