復(fù)合分子泵

FF型復(fù)合分子泵廣泛地應(yīng)用于光譜儀器、電子顯微鏡、檢漏儀、表面物理和分析儀器、質(zhì)譜儀；真空鍍膜行業(yè)、顯像管生產(chǎn)、半導(dǎo)體制造業(yè)、等離子刻蝕等領(lǐng)域。
主要性能特點(diǎn)：

1.高極限真空

*的整體加工轉(zhuǎn)子，可運(yùn)轉(zhuǎn)于更高的工作轉(zhuǎn)速，提高了泵的極限真空。

2.大抽速

是由渦輪級(jí)和牽引級(jí)復(fù)合而成，從而提高了泵的抽速。

3.高壓縮比

轉(zhuǎn)子*的螺旋槽式牽引級(jí)使泵具有高的壓縮比和耐粉塵能力。

4低噪音

采用高精度球軸承，動(dòng)平衡好，對(duì)軸承的磨損小，軸承壽命長(zhǎng)，整機(jī)振動(dòng)小，噪音低。

5.清潔無油

是靠動(dòng)葉片和定葉片的相對(duì)運(yùn)動(dòng)抽除、拖動(dòng)、傳輸氣體分子排出，因此可獲得清潔無油的高真空和超高真空。

6.節(jié)能

由于整體轉(zhuǎn)子比分體轉(zhuǎn)子輕，因此電機(jī)負(fù)載小，消耗功率小，可以運(yùn)行更高的轉(zhuǎn)速。

用途：

主機(jī)
 
進(jìn)氣口通徑  DN250mm
 
排氣口通徑  KF40mm
 
抽氣速率  1600L/s
 
極限壓強(qiáng)  5×10-7Pa （金屬密封）  5×10-6Pa （橡膠密封）
 

壓縮比  N2:108       H2:4×103
 
電機(jī)轉(zhuǎn)速  24000r/min
 
啟動(dòng)時(shí)間  ＜10min
 
潤滑油量  260ml
 
冷卻方式  水冷
 
冷卻水耗量  90L/h
 
冷卻水溫度  ＜24℃
 
安裝位置  垂直
 
電源:
 
zui大功率輸入  1 KW
 
輸出電壓  120V（峰值）
 
輸出頻率  400Hz+10Hz
 
啟動(dòng)電流  5A
 
工作電流  2A