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三路質(zhì)子氣體流量控制器

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更新時(shí)間：2022-08-19 17:14:20瀏覽次數(shù)：317次

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河南創(chuàng)合實(shí)驗(yàn)室設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡介

三路質(zhì)子流量控制器主要用于實(shí)驗(yàn)室氣體流量測試,并按比例混合氣體,為實(shí)驗(yàn)室管式爐或手套箱等其他特定容器營造特定要求的氣氛環(huán)境

詳細(xì)介紹

三路質(zhì)子流量控制器主要用于實(shí)驗(yàn)室氣體流量測試,并按比例混合氣體,為實(shí)驗(yàn)室管式爐或手套箱等其他特定容器營造特定要求的氣氛環(huán)境.
該氣體流量控制器可以外接3種氣體,采用質(zhì)子型流量計(jì),氣路管道采用304拋光管制作耐腐蝕性強(qiáng).三路質(zhì)子氣體配比器氣路接頭采用全不銹鋼雙卡套快速接頭,方便連接且不易泄漏.

應(yīng)用范圍：
1.半導(dǎo)體制造行業(yè)中氣體流量控制
2.各種真空鍍膜設(shè)備
3.材料表面處理
4.氣體燃燒控制
5.混和配氣系統(tǒng)
6.環(huán)境檢測與分析設(shè)備
7.分析儀器的氣體流量計(jì)量與控制 8.化工、石化、冶金、光纖熔煉等需要?dú)怏w檢測和控制的場所

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品名稱	三路質(zhì)子氣體流量控制器
流量計(jì)類型	質(zhì)子流量計(jì)
流量計(jì)管芯	304不銹鋼
調(diào)節(jié)閥類型	電磁調(diào)節(jié)閥
管道常態(tài)	常閉
流量計(jì)外殼	黑色鋁殼
氣體種類	3種
接口尺寸	1/4"
測量精度	±1.0%F.S
線性度	±0.5%F.S
重復(fù)精度	±0.2%F.S
壓力范圍	-0.1-0.15 MPa
A路氣體測量范圍	0～100SCCM
B路氣體測量范圍	0～200SCCM
C路氣體測量范圍	0～500SCCM
流量控制范圍	2%～99%
零點(diǎn)溫漂	0.6F.S(15～35℃)
響應(yīng)時(shí)間	2S
工作環(huán)境溫度	(15～50℃)
精度保證溫度	(15～35℃)
供電電源	220V 50Hz
設(shè)備重量	43kg