等離子清洗設(shè)備清洗原理：

  等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài)，通常物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)三種狀態(tài)存在，但在一些特殊的情況下有第四種狀態(tài)存在，如地球大氣中電離層中的物質(zhì)。等離子體狀態(tài)中存在下列物質(zhì)：處于高速運動狀態(tài)的電子；處于激活狀態(tài)的中性原子、分子、原子團（自由基）；離子化的原子、分子；未反應(yīng)的分子、原子等，但物質(zhì)在總體上仍保持電中性狀態(tài)。

  等離子清洗設(shè)備就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產(chǎn)生高能量的無序的等離子體，通過等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面，從而實現(xiàn)清潔、改性、光刻膠灰化等目的。

產(chǎn)品特點：

l采用美國霍尼韋爾真空壓力傳感器，性能穩(wěn)定可靠；
l采用美國氣體浮子流量計，流量顯示準確；
l*雙路氣體控制方式，氣體控制更加穩(wěn)定；
l艙體、管路、閥體全部采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì)，防腐不生銹；
l手動、自動兩種工作模式，可根據(jù)客戶需求任意切換；
l觸摸按鍵+4.3寸大屏幕彩色液晶顯示屏設(shè)計，顯示清晰，操作簡單；
l智能程序化控制，可編程自動完成整個實驗過程；
l無需任何耗材，使用成本低；
l無需特殊進行維護，在日常使用過程中保持儀器清潔即可；
整機保修一年。

技術(shù)參數(shù)：

配置清單：

• 主機                      1臺    
• 真空泵                     1臺
• 真空軟管                   1根
• 艙內(nèi)托盤                   1塊
• 電源線                     2根
• 備件保險管                  4個
• 說明書                     1本
• 合格證                     1份
• 保修單                1份