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          行業(yè)產(chǎn)品
          
							
						
          
						
            
							
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          無(wú)錫君曉機(jī)電設(shè)備有限公司
                                
                
                
          

							
          
                        			
          
		
          
	
          
	
	
          
		
          
            
          
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          廢氣處理設(shè)備-燃燒水洗系統(tǒng)
          
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          參  考  價(jià)面議  
          
					                    
          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          
				
          
				
				
          
						
          
							
          產(chǎn)品型號(hào)CT-BW
          
							
          品       牌
          
		                    
          廠商性質(zhì)其他
          
		                    							
          所  在  地無(wú)錫市
          
						
          
                        
                    
          
					 							        										
          聯(lián)系方式：沈撫直查看聯(lián)系方式
          
									                                                 
          
						
          
							
          
								更新時(shí)間：2019-10-23 19:27:38瀏覽次數(shù)：341次
							
          
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          經(jīng)營(yíng)模式：其他
          
						
          商鋪產(chǎn)品：9條
          
						
          所在地區(qū)：江蘇無(wú)錫市
          
						
          聯(lián)系人：沈撫直 （銷售經(jīng)理）
          												
					
          
				
          
			
          			
          
                                
          
                    產(chǎn)品簡(jiǎn)介
                
          
				
          
                      
          
                                                                      
          
					
          針對(duì)廢氣處理的燃燒-水洗系統(tǒng) 
           
          概述 
           
          CT-BW使用點(diǎn)對(duì)點(diǎn)廢氣減排系統(tǒng)是應(yīng)用于光伏、半導(dǎo)體以及其
          它相關(guān)產(chǎn)業(yè)的化學(xué)氣相沉積和刻蝕等領(lǐng)域的一種高性能系統(tǒng)。
          隨著新工藝引進(jìn)了具有高腐蝕性氣體且逐漸增加氣體負(fù)荷量，
          廢氣減排技術(shù)需要進(jìn)一步改善。 
           
          CT-BW不僅滿足此要求，且符合安全標(biāo)準(zhǔn)。CT-BW具有許
          多優(yōu)點(diǎn)，例如，針對(duì)化學(xué)氣相沉積、蝕刻制程的廢氣（尤其是
          全氟化合物、各類固體、氣
          
				
          
				
          
                    詳細(xì)介紹
                
          
			    
          
			        
          
			            
          針對(duì)廢氣處理設(shè)備的燃燒-水洗系統(tǒng) 
           
          概述 
           
          CT-BW使用點(diǎn)對(duì)點(diǎn)廢氣減排系統(tǒng)是應(yīng)用于光伏、半導(dǎo)體以及其
          它相關(guān)產(chǎn)業(yè)的化學(xué)氣相沉積和刻蝕等領(lǐng)域的一種高性能系統(tǒng)。
          隨著新工藝引進(jìn)了具有高腐蝕性氣體且逐漸增加氣體負(fù)荷量，
          廢氣減排技術(shù)需要進(jìn)一步改善。 

           
          CT-BW不僅滿足此要求，且符合安全標(biāo)準(zhǔn)。CT-BW具有許
          多優(yōu)點(diǎn)，例如，針對(duì)化學(xué)氣相沉積、蝕刻制程的廢氣（尤其是
          全氟化合物、各類固體、氣態(tài)反應(yīng)的副產(chǎn)物）有著高處理效率
          （DRE）。 
           
          該系統(tǒng)的設(shè)計(jì)是極可靠的，即使在嚴(yán)苛的制程條件下仍具有資
          源節(jié)約性能。 
           
          獨(dú)立的功能部件（例如，燃燒頭、燃燒腔、水洗腔、廢氣進(jìn)
          口、冷卻系統(tǒng)）可以根據(jù)各種應(yīng)用而靈活地安裝。 
           
          我們延長(zhǎng)維護(hù)周期和zui大化正常運(yùn)行時(shí)間的秘訣是─客戶量身
          定制的廢氣減排系統(tǒng)。
          工藝技術(shù) 
           
          ? 每個(gè)模塊的廢氣總流量可達(dá)1,500slm 
          ? 可高效處理沉積和蝕刻氣體 
          ? 經(jīng)改良的減塵處理 
          ? 監(jiān)控緊急旁路稀釋 
          ? 更大的反應(yīng)腔容量，以提供更佳的處理效率

          CT-BW廢氣處理設(shè)備-水洗燃燒系統(tǒng)流程示意圖：

          特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì) 
           
          ? 高達(dá)99.99%的處理效率（DRE） 
          ? 模塊化 
           - 一個(gè)電器柜可連接高達(dá)四組獨(dú)立模塊 
           - 模塊間彼此隔離 
           - 每個(gè)模塊都有其獨(dú)立的安全鏈（傳感器，探針等） 
          ? 每個(gè)介質(zhì)只需要一個(gè)Hook-up連接點(diǎn)，可多達(dá)4個(gè)模塊 
          ? 客戶量身定制的備用配置 
          ? 低運(yùn)行成本，根據(jù)制程來(lái)控制燃燒頭性能 
          ? 改良的抗腐蝕反應(yīng)腔蓋 
          ? 上至下燃燒器設(shè)計(jì)，降低燃燒頭噴嘴的阻塞問(wèn)題 
          ? 反應(yīng)腔中的水幕，避免腐蝕和阻塞問(wèn)題 
          ? 由于經(jīng)優(yōu)化的內(nèi)部設(shè)計(jì)，可使維護(hù)簡(jiǎn)易且快速 
          ? 自動(dòng)化的廢氣進(jìn)口清潔裝置，增加MTBPM 
          ? 圖形化的使用介面并附解說(shuō)文字，使故障排除更為容易 
          ? Ethernet或RS485的監(jiān)控接口 
          ? 量身定制的廢氣減排設(shè)置，以滿足各種工藝需求 
          ? 燃料氣的選擇性高，如：液化天然氣、城市燃?xì)?、煤氣、氫氣、丙烷、丁烷?nbsp;
          ? 符合以下的安全標(biāo)準(zhǔn)與規(guī)范： 
           - SEMI S2-0706 
           - SEMI S8-0308 
           - SEMI S14-0704 
           - NFPA79: 2007 
           - EN / ISO 14121-1: 2007 
           - EN / ISO 13849-1: 2008 
           - EN60204-1: 2006 
           - MD2006/EC/42-Annex I: 2006 
          ? 德國(guó)制造 
          尺寸：

          技術(shù)數(shù)據(jù)：


          
			        
          
			    
          
                                                				
          
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