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蘇州智德自動(dòng)控制有限公司
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蘇州智德自動(dòng)控制有限公司
產(chǎn)品型號(hào)雙驅(qū)氣浮
品 牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地蘇州市
聯(lián)系方式：秦女士查看聯(lián)系方式
更新時(shí)間：2019-10-10 14:16:56瀏覽次數(shù)：338次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 智能制造網(wǎng)精密氣浮UPAS超精密氣浮平臺(tái)
特 性 Specification
超高精密：分辨率10nm,重復(fù)精度50nm,定位精度：100nm
超穩(wěn)定性：花崗石機(jī)臺(tái)，氣浮導(dǎo)軌，直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，勻速段速度波動(dòng)低于0.05%
高動(dòng)態(tài)性：高加速度，高響應(yīng)，*平穩(wěn)運(yùn)行，同時(shí)保持**的穩(wěn)定性
應(yīng) 用 Application
半導(dǎo)體制造、激光成像、平板顯示器制造、激光切割、精密測(cè)量等高精度定位的場(chǎng)合
特 性 Specification
超高精密：分辨率10nm,重復(fù)精度50nm,定位精度：100nm
超穩(wěn)定性：花崗石機(jī)臺(tái)，氣浮導(dǎo)軌，直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，勻速段速度波動(dòng)低于0.05%
高動(dòng)態(tài)性：高加速度，高響應(yīng)，*平穩(wěn)運(yùn)行，同時(shí)保持**的穩(wěn)定性
精密氣浮大理石科研實(shí)驗(yàn)平臺(tái)
應(yīng) 用 Application
半導(dǎo)體制造、激光成像、平板顯示器制造、激光切割、精密測(cè)量等高精度定位的場(chǎng)合
尺 寸 及 技 術(shù) 參 數(shù)
| 規(guī)格 | UPAS-2-D-IR-0200-0200-10 | ||
| 行程（mm） | X200 ,Y1,Y2 200,R360º | 直線度(μm） | X2,Y2 |
| 重復(fù)精度(nm) | X±50,Y±50(分辨率10nm) | X-Y垂直度（arc-sec） | ±3 |
| R軸重復(fù)精度(acr-sec) | ±2.5 | 額定負(fù)載(kg) | 8（MAX30） |
| 大加速度(m/s²) | X9.8, Y9.8 | X動(dòng)負(fù)載（kg） | 6.78 |
| 勻速速度(mm/s) | 280 | Y動(dòng)負(fù)載（kg） | 37.09 |
| 勻速段長(zhǎng)度(mm) | X182 Y182 | 總質(zhì)量（kg） | 102.6 |
| 工作周期(ms) | X800 Y800 | 外觀 | 黑色陽(yáng)極 |
| 導(dǎo)軌類型 | 氣浮 | 基座材質(zhì) | 花崗石 |
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