VGT-6072F深圳威固特機(jī)械零配件超聲波清洗機(jī)
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深圳市威固特洗凈設(shè)備有限公司
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VGT-907FTA深圳威固特太陽(yáng)能電池硅片超聲波清洗機(jī)
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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- VGT-907FTA 產(chǎn)品型號(hào)
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訪問(wèn)次數(shù)：372更新時(shí)間：2019-07-27 18:20:58
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
1.人機(jī)界面，PLC控制；
2.采用單臂機(jī)械手，可靈活調(diào)節(jié)清洗工藝；
3.各清洗槽設(shè)置拋動(dòng)機(jī)構(gòu)，保證清洗效果；片超聲波清洗機(jī)
產(chǎn)品介紹
深圳威固特太陽(yáng)能電池硅片超聲波清洗機(jī)
深圳威固特太陽(yáng)能電池硅片超聲波清洗機(jī)
型號(hào)：VGT-907FTA
產(chǎn)品特點(diǎn)：
1.人機(jī)界面，PLC控制；
2.采用單臂機(jī)械手，可靈活調(diào)節(jié)清洗工藝；
3.各清洗槽設(shè)置拋動(dòng)機(jī)構(gòu)，保證清洗效果；
4.采用超聲波清洗、鼓所沖洗等工藝；
5.采用28KHZ、40KHZ多頻段超聲波；
6.全封閉機(jī)構(gòu)，外形美觀。
7.設(shè)備內(nèi)部安裝有維修照明燈，方便維修。
8.上下料有手推車(chē)，方便員工操作。
應(yīng)用范圍：
1、爐前清洗：擴(kuò)散前清洗。
2、光刻后清洗：除去光刻膠。
3、氧化前自動(dòng)清洗：氧化前去掉硅片表面所有的沾污物。
4、拋光后自動(dòng)清洗：除去切、磨、拋的沾污。
5、外延前清洗：除去埋層擴(kuò)散后的SiO2及表面污物。
6、合金前、表面鈍化前清洗：除去鋁布線后，表面雜質(zhì)及光膠殘?jiān)?/span>
7、離子注入后的清洗：除去光刻膠，SiO2層
8、擴(kuò)散預(yù)淀積后清洗：除去預(yù)淀積時(shí)的BSG和PSG。
9、外延前清洗：除去埋層擴(kuò)散后的SiO2及表面污物。
10、CVD后清洗：除去CVD過(guò)程中的顆粒。
技術(shù)參數(shù)：
超聲波功率：3.5KW
超聲波頻率：28,40,60KHZ
換能器數(shù)量：7個(gè)
電源電壓：220V/380V
技術(shù)優(yōu)勢(shì)：
適用于2”-8”基片的半導(dǎo)體清洗工藝中,有效去除硅/晶片表面的有機(jī)物、顆粒、金屬雜質(zhì)、自然氧化層及石英、塑料等附件器皿的污染物，且不破壞晶片表面特性。根據(jù)不同清洗工藝配置相應(yīng)的清洗單元，各部分有獨(dú)立控制，隨意組合
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