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低溫等離子體技術(shù)與應(yīng)用、研究未來發(fā)展趨勢

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更新時間：2019-08-12 15:57:46瀏覽次數(shù)：711次

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低溫等離子體技術(shù)與應(yīng)用、研究未來發(fā)展趨勢

目前對低溫等離子體（cold plasma）的定義還不甚明確，普遍認為低溫等離子體是物質(zhì)存在的第4種狀態(tài)，又稱為非熱力學(xué)平衡狀態(tài)等離子體

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低溫等離子體技術(shù)與應(yīng)用、研究未來發(fā)展趨勢

目前對低溫等離子體(cold plasma) 的定義還不甚明確，普遍認為低溫等離子體是物質(zhì)存在的第4種狀態(tài)，又稱為非熱力學(xué)平衡狀態(tài)等離子體，由大量正負帶電粒子和中性粒子組成，其中電子溫度(Te)>離子溫度(Ti)，電子溫度可達104K以上，而其離子和中性粒子的溫度卻可低至300~500K(2)。一般氣體放電產(chǎn)生等離子體屬于低溫等離子體。

低溫等離子體技術(shù)與應(yīng)用、研究未來發(fā)展趨勢
低溫等離子體主要是由氣體放電產(chǎn)生的。根據(jù)放電產(chǎn)生的機理，氣體的壓強范圍、電源性質(zhì)以及電極的幾何形狀、氣體放電等離子體主要分為以下幾種形式：(1)輝光放電；(2)電暈放電：(3)介質(zhì)阻擋放電；(4)射頻放電；(5)微波放電。由于對諸如氣態(tài)污染物的治理，一般要求在常壓下進行.而能在常壓(105P左右)下產(chǎn)生低溫等離子體的只有電暈放電和介質(zhì)阻擋放電兩種形式。
2·1輝光放電
輝光放電屬于低氣壓放電(low pressured i-charge) 工作壓力一般都低于10mbar，其構(gòu)造是在封閉的容器內(nèi)放置兩個平行的電極板，利用電子對中性原子和分子的激發(fā)，當粒子由激發(fā)態(tài)(excited state向基態(tài)(e round state轉(zhuǎn)化時會以光的形式釋放出能量.由于輝光放電受低氣壓的限制，工業(yè)應(yīng)用難于連續(xù)化生產(chǎn)且應(yīng)用成本高昂.因而無法廣泛地在工業(yè)中應(yīng)用。
2-2電暈放電
電暈放電是使用曲率半徑很小的電極，如針狀電極或細線狀電極，并在電極上加高電壓，由于電極的曲率.半徑很小，而靠近電極區(qū)域的電場特別強，電子逸出陽極，發(fā)生非均勻放電，稱為電暈放電。在大氣污染物治理上，電暈放電法多用于煙道氣脫硫和脫硝，也有用電暈放電法去除空氣中揮發(fā)性有機氣體、硫化氫、鹵代烷烴、以及對印染廢水脫色等。
2·3介質(zhì)阻擋放電