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廣東啟天自動化智能裝備股份有限公司
免費(fèi)會員a00180L等離子刻蝕機(jī)（價格面議）
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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)- a001 產(chǎn)品型號
- 品牌
- 生產(chǎn)商 廠商性質(zhì)
- 東莞市 所在地
訪問次數(shù)：448更新時間：2019-06-24 10:55:04
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產(chǎn)品簡介
產(chǎn)品介紹
在真空狀態(tài)下， 利用射頻輻射視得氫氣， 氧氣， 氮?dú)?，等氣體生成具有高反應(yīng)活性的等離子于氣體反應(yīng)形成揮發(fā)性化合物， 然后由真空系統(tǒng)將這些物質(zhì)清除出去 等離子體刻蝕機(jī)，應(yīng)用刻蝕硅片邊緣的硅鱗層，擴(kuò)散過程中， 不但硅片的表面擴(kuò)散上了鱗，硅片邊緣也擴(kuò)散上了鱗，這會導(dǎo)致硅片正反兩極通過邊緣導(dǎo)通短路，所以必須將硅片邊緣這層被擴(kuò)散的 硅鱗去掉，大概去掉1到3個微米， 硅片在刻蝕機(jī)內(nèi)水平選裝， 通入的反應(yīng)氣體為四氟化碳，氧氣和氮?dú)?，其原理是在放電狀態(tài)下反應(yīng)氣體四氟化碳， 氧氣， 和硅片邊緣的規(guī)劃和物發(fā)生反應(yīng)， 生成硅， 反應(yīng)形成粉末和氣態(tài)物質(zhì)后隨氣流一起被抽走
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