單晶硅中電解液的配備對純水要求十分嚴(yán)格，通常要求水的電導(dǎo)率在0.1us/cm(電阻值在10兆歐姆)以上，傳統(tǒng)用來制備電池用超純水的工藝是常采用陰陽樹脂交換設(shè)備，該超純水設(shè)備工藝的缺點在于樹脂在使用一段時間以后要經(jīng)常再生。下面大家介紹幾種比較適合超純水設(shè)備的工藝。

　　1、采用離子交換方式，其流程如下：

　　原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→陽樹脂過濾床→陰樹脂過濾床→陰陽樹脂混床→微孔過濾器→用水點

　　2、采用兩級反滲透方式，其流程如下：

　　原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→*級反滲透 →PH調(diào)節(jié)→中間水箱→第二級反滲透(反滲透膜表面帶正電荷)→純化水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點

　　3、采用EDI方式，其流程如下：

　　原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透機(jī)→中間水箱→中間水泵→EDI系統(tǒng)→微孔過濾器→用水點

　　隨著膜分離技術(shù)的不斷成熟，現(xiàn)在單晶硅超純水設(shè)備常常采用反滲透過濾工藝，或者是采用一級反滲透后面再經(jīng)過離子交換混床(或電去離子EDI)工藝來制取超純水。

    單晶硅爐用超純水設(shè)備優(yōu)點：

    1、無需酸堿再生：在混床中樹脂需要用化學(xué)藥品酸堿再生，而EDI則消除了這些有害物質(zhì)的處理和繁重的工作，保護(hù)了環(huán)境。

    2、連續(xù)、簡單的操作：在混床中由于每次再生和水質(zhì)量的變化，使操作過程變得復(fù)雜，而EDI的產(chǎn)水過程是穩(wěn)定的連續(xù)的，產(chǎn)水水質(zhì)是恒定的，沒有復(fù)雜的操作程序，操作大大簡便化。

    3、降低了安裝的要求：EDI系統(tǒng)與相當(dāng)處理水量的混床相比，有較不的體積，它采用積木式結(jié)構(gòu)，可依據(jù)場地的高度和窨靈活地構(gòu)造。模塊化的設(shè)計，使EDI在生產(chǎn)工作時能方便維護(hù)。

    單晶硅爐用超純水設(shè)備主要配置：

    1、預(yù)處理系統(tǒng)：原水箱(選配)、原水箱液位、控制器、原水進(jìn)水、電磁閥、原水泵、多介質(zhì)過濾器、活性炭過濾器、全自動軟水器、管路、閥門。

    2、RO反滲透系統(tǒng)：一級高壓泵、二級高壓泵、一級反滲透膜、二級反滲透膜、反滲透膜殼、膜架、控制系統(tǒng)、進(jìn)水電磁閥、沖洗電磁閥、調(diào)壓閥、高壓開關(guān)、低壓開關(guān)、精密過濾器。

    3、儲存系統(tǒng)：液位控制器中間水箱純水箱。

    4、IX離子交換系統(tǒng)：給水泵、再生泵、樹脂容器、離子交換樹脂、管路、閥門、機(jī)架。